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2.45 GHz ECR离子源的微波阻抗匹配

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钱程, 陈志, 马鸿义, 武启, 张文慧, 王云, 杨尧, 方兴, 孙良亭, 张雪珍, 张子民, 刘占稳, 赵红卫. 2013: 2.45 GHz ECR离子源的微波阻抗匹配, 原子核物理评论, null(1): 32-37. doi: 10.11804/NuclPhysRev.30.01.032
引用本文: 钱程, 陈志, 马鸿义, 武启, 张文慧, 王云, 杨尧, 方兴, 孙良亭, 张雪珍, 张子民, 刘占稳, 赵红卫. 2013: 2.45 GHz ECR离子源的微波阻抗匹配, 原子核物理评论, null(1): 32-37. doi: 10.11804/NuclPhysRev.30.01.032
shu
2013: Microwave Impedance Matching of A 2.45 GHz ECR Ion Source, Nuclear Physics Review, null(1): 32-37. doi: 10.11804/NuclPhysRev.30.01.032
Citation: 2013: Microwave Impedance Matching of A 2.45 GHz ECR Ion Source, Nuclear Physics Review, null(1): 32-37. doi: 10.11804/NuclPhysRev.30.01.032
shu

2.45 GHz ECR离子源的微波阻抗匹配

  • 中国科学技术大学核科学技术学院,安徽合肥 230026

  • 中国科学院近代物理研究所,甘肃兰州 730000

  • 中国科学院大学,北京 100049

Microwave Impedance Matching of A 2.45 GHz ECR Ion Source

  • 摘要: ECR离子源的等离子体阻抗对其微波传输与阻抗匹配设计至关重要.在中国科学院近代物理研究所现有的2.45 GHz ECR质子源上,对等离子体阻抗进行了测量.首先用水吸收负载代替等离子体负载测量得到了所用微波窗阻抗,然后根据质子源测量数据,推算得到了等离子体阻抗.实验结果表明,脊波导输出端阻抗与后续负载不完全匹配,等离子体阻抗随微波功率变化呈非线性.这些结果为ECR离子源过渡匹配和微波窗的设计提供了参考依据.
    Abstract: Plasma impedance of an ECR ion source is important for microwave transmission and impedance matching design. Plasma impedance was measured indirectly with the 2.45 GHz ECR proton source at the Institute of Modern Physics, Chinese Academy of Sciences. In the test, we got microwave window impedance by using water absorption load instead of plasma load, and the source plasma impedance was derived from the test data with the 2.45 GHz ECR proton source and microwave window impedance. The experimental results show that ridge waveguide output impedance and the subsequent load does not exactly match, plasma impedance variation is nonlinear with microwave power. The achieved result is useful in the design of ridged waveguide and microwave window.
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出版历程
  • 刊出日期:  2013-03-20

2.45 GHz ECR离子源的微波阻抗匹配

  • 中国科学技术大学核科学技术学院,安徽合肥 230026
  • 中国科学院近代物理研究所,甘肃兰州 730000
  • 中国科学院大学,北京 100049

摘要: ECR离子源的等离子体阻抗对其微波传输与阻抗匹配设计至关重要.在中国科学院近代物理研究所现有的2.45 GHz ECR质子源上,对等离子体阻抗进行了测量.首先用水吸收负载代替等离子体负载测量得到了所用微波窗阻抗,然后根据质子源测量数据,推算得到了等离子体阻抗.实验结果表明,脊波导输出端阻抗与后续负载不完全匹配,等离子体阻抗随微波功率变化呈非线性.这些结果为ECR离子源过渡匹配和微波窗的设计提供了参考依据.

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