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基于原子发射光谱的TiC等离子体沉积诊断

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周晗, 周福增, 伏开虎, 黄杰, 陈琳, 廖斌, 张旭. 2015: 基于原子发射光谱的TiC等离子体沉积诊断, 原子核物理评论, null(z1): 79-83. doi: 10.11804/NuclPhysRev.32.S1.79
引用本文: 周晗, 周福增, 伏开虎, 黄杰, 陈琳, 廖斌, 张旭. 2015: 基于原子发射光谱的TiC等离子体沉积诊断, 原子核物理评论, null(z1): 79-83. doi: 10.11804/NuclPhysRev.32.S1.79
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基于原子发射光谱的TiC等离子体沉积诊断

  • 北京师范大学核科学与技术学院 教育部射线束技术与材料改性重点实验室 北京市辐射中心,北京,100875

  • 摘要: 对通过磁过滤阴极真空弧(FCVA)获得的高密度、高离化率的等离子体进行诊断。为研究C2H2气流量对磁过滤阴极弧产生的等离子体的影响，采用原子发射光谱(OES)法对FCVA沉积过程中产生的TiC等离子体进行诊断。利用Saha-Boltzmann方法对不同气流量下等离子体的参数进行计算，并对等离子体产生过程中的谱线强度随气流量变化的机制进行研究。结果表明，等离子体电离度较高，约为0.8左右且随气流量的变化不大；电子温度和电子密度分别在1×104～2×104 K和1023～1024 m?3范围内变化，且随着气流量的增加呈现出先增大后减小的变化趋势；Ti粒子谱线相对强度随气流量的变化不大，表明Ti粒子大部分在阴极弧斑附近被离化。
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出版历程
  • 刊出日期:  2015-12-30

基于原子发射光谱的TiC等离子体沉积诊断

  • 北京师范大学核科学与技术学院 教育部射线束技术与材料改性重点实验室 北京市辐射中心,北京,100875

摘要: 对通过磁过滤阴极真空弧(FCVA)获得的高密度、高离化率的等离子体进行诊断。为研究C2H2气流量对磁过滤阴极弧产生的等离子体的影响，采用原子发射光谱(OES)法对FCVA沉积过程中产生的TiC等离子体进行诊断。利用Saha-Boltzmann方法对不同气流量下等离子体的参数进行计算，并对等离子体产生过程中的谱线强度随气流量变化的机制进行研究。结果表明，等离子体电离度较高，约为0.8左右且随气流量的变化不大；电子温度和电子密度分别在1×104～2×104 K和1023～1024 m?3范围内变化，且随着气流量的增加呈现出先增大后减小的变化趋势；Ti粒子谱线相对强度随气流量的变化不大，表明Ti粒子大部分在阴极弧斑附近被离化。

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