CVD法单层MoS2在209Bi离子辐照下的损伤效应研究

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吴杨, 孙友梅, 刘杰, 翟鹏飞, 郭航, 姚会军, 刘建德, 罗捷. 2018: CVD法单层MoS2在209Bi离子辐照下的损伤效应研究, 原子核物理评论, 35(1): 72-77. doi: 10.11804/NuclPhysRev.35.01.072
引用本文: 吴杨, 孙友梅, 刘杰, 翟鹏飞, 郭航, 姚会军, 刘建德, 罗捷. 2018: CVD法单层MoS2在209Bi离子辐照下的损伤效应研究, 原子核物理评论, 35(1): 72-77. doi: 10.11804/NuclPhysRev.35.01.072
WU Yang, SUN Youmei, LIU Jie, ZHAI Pengfei, GUO Hang, YAO Huijun, LIU Jiande, LUO jie. 2018: Damage Effects of CVD Single-layer MoS2 Irradiated by 209Bi Ions, Nuclear Physics Review, 35(1): 72-77. doi: 10.11804/NuclPhysRev.35.01.072
Citation: WU Yang, SUN Youmei, LIU Jie, ZHAI Pengfei, GUO Hang, YAO Huijun, LIU Jiande, LUO jie. 2018: Damage Effects of CVD Single-layer MoS2 Irradiated by 209Bi Ions, Nuclear Physics Review, 35(1): 72-77. doi: 10.11804/NuclPhysRev.35.01.072

CVD法单层MoS2在209Bi离子辐照下的损伤效应研究

Damage Effects of CVD Single-layer MoS2 Irradiated by 209Bi Ions

  • 摘要: 通过光学显微镜、拉曼光谱确定了CVD(化学气相沉积法)制备的不同厚度MoS2的层数,采用拉曼分析结合原子力显微镜观测分析了由HIRFL提供的高能209Bi离子辐照CVD制备的单层MoS2样品随辐照注量的损伤规律.随辐照注量增加,E1g和A1g两种声子振动模式对应的拉曼峰逐渐蓝移,且拉曼特征峰强度减弱,这是由于带正电荷的209Bi辐照产生潜径迹型晶格缺陷吸附空气中氧分子而引入p型掺杂引起的.同时,在辐照注量为5× 1010 ions/cm2的单层MoS2的AFM图像中观察到潜径迹主要以凹坑形式出现,与机械剥离法观测到的凸起径迹明显不同,分析了不同制备工艺对径迹形貌的影响.比较了机械剥离法制备MoS2样品的拉曼光谱和AFM成像的实验数据和结果,认为不同制备方法会影响单层或少层MoS2的电子密度.
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出版历程
  • 刊出日期:  2018-01-01

CVD法单层MoS2在209Bi离子辐照下的损伤效应研究

  • 中国科学院近代物理研究所,兰州730000;中国科学院大学,北京100049
  • 中国科学院近代物理研究所,兰州,730000

摘要: 通过光学显微镜、拉曼光谱确定了CVD(化学气相沉积法)制备的不同厚度MoS2的层数,采用拉曼分析结合原子力显微镜观测分析了由HIRFL提供的高能209Bi离子辐照CVD制备的单层MoS2样品随辐照注量的损伤规律.随辐照注量增加,E1g和A1g两种声子振动模式对应的拉曼峰逐渐蓝移,且拉曼特征峰强度减弱,这是由于带正电荷的209Bi辐照产生潜径迹型晶格缺陷吸附空气中氧分子而引入p型掺杂引起的.同时,在辐照注量为5× 1010 ions/cm2的单层MoS2的AFM图像中观察到潜径迹主要以凹坑形式出现,与机械剥离法观测到的凸起径迹明显不同,分析了不同制备工艺对径迹形貌的影响.比较了机械剥离法制备MoS2样品的拉曼光谱和AFM成像的实验数据和结果,认为不同制备方法会影响单层或少层MoS2的电子密度.

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