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点衍射干涉系统光学结构参数优化研究

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邵卫红, 杨甬英, 陈晓钰, 刘东, 沈亦兵. 2014: 点衍射干涉系统光学结构参数优化研究, 强激光与粒子束, 26(5): 10-16. doi: 10.11884/HPLPB201426.051001
引用本文: 邵卫红, 杨甬英, 陈晓钰, 刘东, 沈亦兵. 2014: 点衍射干涉系统光学结构参数优化研究, 强激光与粒子束, 26(5): 10-16. doi: 10.11884/HPLPB201426.051001
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Shao Weihong, Yang Yongying, Chen Xiaoyu, Liu Dong, Shen Yibing. 2014: Optimization research on optical structural parameters of point diffraction interference system, High Power Lase and Particle Beams, 26(5): 10-16. doi: 10.11884/HPLPB201426.051001
Citation: Shao Weihong, Yang Yongying, Chen Xiaoyu, Liu Dong, Shen Yibing. 2014: Optimization research on optical structural parameters of point diffraction interference system, High Power Lase and Particle Beams, 26(5): 10-16. doi: 10.11884/HPLPB201426.051001
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点衍射干涉系统光学结构参数优化研究

  • 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,杭州,310027

Optimization research on optical structural parameters of point diffraction interference system

  • 摘要: 采用时域有限差分方法,在分析点衍射波前误差的前提下,讨论了点衍射干涉系统中物镜数值孔径、针孔尺寸、检测的数值孔径对衍射光强的影响;逐步优化光学结构参数,得到不同光学结构参数之间的匹配数值表;通过比较点衍射干涉系统和Zygo干涉仪对球面镜的测量结果,得到测量面形误差的均方根之差为波长的1/1000,且获得的干涉条纹具有合适的对比度和亮度,验证了光学结构参数选择的合理性.
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出版历程
  • 刊出日期:  2014-05-30

点衍射干涉系统光学结构参数优化研究

  • 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,杭州,310027

摘要: 采用时域有限差分方法,在分析点衍射波前误差的前提下,讨论了点衍射干涉系统中物镜数值孔径、针孔尺寸、检测的数值孔径对衍射光强的影响;逐步优化光学结构参数,得到不同光学结构参数之间的匹配数值表;通过比较点衍射干涉系统和Zygo干涉仪对球面镜的测量结果,得到测量面形误差的均方根之差为波长的1/1000,且获得的干涉条纹具有合适的对比度和亮度,验证了光学结构参数选择的合理性.

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