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基于多次平移的平面绝对检测仿真

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马骅, 陈波, 任寰, 刘旭, 刘勇. 2014: 基于多次平移的平面绝对检测仿真, 强激光与粒子束, 26(5): 47-51. doi: 10.11884/HPLPB201426.051009
引用本文: 马骅, 陈波, 任寰, 刘旭, 刘勇. 2014: 基于多次平移的平面绝对检测仿真, 强激光与粒子束, 26(5): 47-51. doi: 10.11884/HPLPB201426.051009
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Ma Hua, Chen Bo, Ren Huan, Liu Xu, Liu Yong. 2014: Simulation analysis on absolute measurement of flat with multiple translation method, High Power Lase and Particle Beams, 26(5): 47-51. doi: 10.11884/HPLPB201426.051009
Citation: Ma Hua, Chen Bo, Ren Huan, Liu Xu, Liu Yong. 2014: Simulation analysis on absolute measurement of flat with multiple translation method, High Power Lase and Particle Beams, 26(5): 47-51. doi: 10.11884/HPLPB201426.051009
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基于多次平移的平面绝对检测仿真

  • 中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳621900;中国工程物理研究院研究生院,北京100088

  • 中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳,621900

Simulation analysis on absolute measurement of flat with multiple translation method

  • 摘要: 将待测面形表示为多项式的和,通过分别沿x,y向多次平移待检光学元件得到移动前后待测元件面形差,采用最小二乘法拟合多项式系数,得到待检光学元件的绝对面形.推导了多次平移法的理论公式,并进行了仿真实验,模拟了移动次数、移动间隔和采样点数对测量精度的影响.仿真结果表明:待测平面与初始平面残差图的均方根值为5.118×10-13λ,理论误差达到高精度平面面形检测要求.
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出版历程
  • 刊出日期:  2014-05-30

基于多次平移的平面绝对检测仿真

  • 中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳621900;中国工程物理研究院研究生院,北京100088
  • 中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳,621900

摘要: 将待测面形表示为多项式的和,通过分别沿x,y向多次平移待检光学元件得到移动前后待测元件面形差,采用最小二乘法拟合多项式系数,得到待检光学元件的绝对面形.推导了多次平移法的理论公式,并进行了仿真实验,模拟了移动次数、移动间隔和采样点数对测量精度的影响.仿真结果表明:待测平面与初始平面残差图的均方根值为5.118×10-13λ,理论误差达到高精度平面面形检测要求.

English Abstract

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