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拼接干涉仪在控制装校面形中的应用

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叶海仙, 熊召, 曹庭分, 刘长春, 张亮, 易聪之. 2014: 拼接干涉仪在控制装校面形中的应用, 强激光与粒子束, 26(5): 69-73. doi: 10.11884/HPLPB201426.051014
引用本文: 叶海仙, 熊召, 曹庭分, 刘长春, 张亮, 易聪之. 2014: 拼接干涉仪在控制装校面形中的应用, 强激光与粒子束, 26(5): 69-73. doi: 10.11884/HPLPB201426.051014
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Ye Haixian, Xiong Zhao, Cao Tingfen, Liu Changchun, Zhang Liang, Yi Congzhi. 2014: Application of stitching interferometer to controlling assembly distortion, High Power Lase and Particle Beams, 26(5): 69-73. doi: 10.11884/HPLPB201426.051014
Citation: Ye Haixian, Xiong Zhao, Cao Tingfen, Liu Changchun, Zhang Liang, Yi Congzhi. 2014: Application of stitching interferometer to controlling assembly distortion, High Power Lase and Particle Beams, 26(5): 69-73. doi: 10.11884/HPLPB201426.051014
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拼接干涉仪在控制装校面形中的应用

  • 中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳,621900

Application of stitching interferometer to controlling assembly distortion

  • 摘要: 通过对比大口径光学元件夹持不当时全口径与局部口径之间的图像关系,研究局部面形控制的新方式.并与高精度的大口径干涉仪进行比对测试,验证拼接干涉仪的测试精度.实验表明,拼接干涉仪局部测试精度可达50 nm(PV值),空间分辨力高达5 mm-1,可以实现中频段的装校监控.使用拼接干涉仪扫描测试全口径面形,测试不确定度小于100 nm,与φ600 mm的大口径干涉仪测试结果差别小于0.04λ(波长λ=632.8 nm).
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出版历程
  • 刊出日期:  2014-05-30

拼接干涉仪在控制装校面形中的应用

  • 中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳,621900

摘要: 通过对比大口径光学元件夹持不当时全口径与局部口径之间的图像关系,研究局部面形控制的新方式.并与高精度的大口径干涉仪进行比对测试,验证拼接干涉仪的测试精度.实验表明,拼接干涉仪局部测试精度可达50 nm(PV值),空间分辨力高达5 mm-1,可以实现中频段的装校监控.使用拼接干涉仪扫描测试全口径面形,测试不确定度小于100 nm,与φ600 mm的大口径干涉仪测试结果差别小于0.04λ(波长λ=632.8 nm).

English Abstract

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