关键词: 
• 脉冲激光 /
• 光剂量 /
• 实时监控 /
• 脉冲分组 /
• 能量积分

摘要: 精确控制脉冲激光加工光剂量是保证加工产品工艺和质量的关键.在对现有的光剂量控制算法进行分析后,提出了基于脉冲分组的光剂量监控新算法,有效提高了光剂量监测精度和反馈控制速度.设计了光剂量监控系统,实现了脉冲激光加工光剂量实时监测及反馈控制.与Ophir公司的StarLab激光能量测量系统相比,500个激光脉冲以内的总能量测量,本系统测量误差不超过±0.15％.对一套脉冲最大重复频率为10 kHz、单脉冲最大能量为5 mJ、恒压工作下最大能量波动为±10％的脉冲激光加工系统光剂量进行了监控实验.在本系统的监控下,可将目标光剂量为150 mJ/mm2以内的加工光剂量控制精度和重复精度分别控制在0.90％和0.100 mJ/mm2以内,同时将光剂量反馈控制速度提高了4倍.