非对称结构大功率940 nm量子阱激光器
High power 940 nm quantum well laser with asymmetric structure
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摘要: 为改善940 nm大功率InGaAs/GaAs半导体激光器输出特性,通过模拟计算了非对称波导层及限制层结构的光场分布,并参照模拟制作了非对称结构半导体激光器器件.采用低压金属有机物气相沉积(LP MOCVD)生长技术,获得了低内吸收系数的高质量外延材料,通过实验数据计算得到激光器材料内吸收系数仅为0.44 mm-1.进而通过管芯工艺制作了条宽100 μm、腔长2000 μm的940 nm半导体激光器器件.25 ℃室温10 A直流连续(CW)测试镀膜后器件阈值电流251 mA,斜率效率1.22 W/A,最大输出功率达到9.6W,最大光电转化效率超过70%.
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关键词:
- 量子阱激光器 /
- 大功率 /
- 非对称结构 /
- InGaAs/GaAs /
- 金属有机物化学气相沉积
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