一种大入射角容差宽带薄膜偏振器

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刘永利, 张锦龙, 王占山. 2014: 一种大入射角容差宽带薄膜偏振器, 强激光与粒子束, 26(5): 130-135. doi: 10.11884/HPLPB201426.052003
引用本文: 刘永利, 张锦龙, 王占山. 2014: 一种大入射角容差宽带薄膜偏振器, 强激光与粒子束, 26(5): 130-135. doi: 10.11884/HPLPB201426.052003
Liu Yongli, Zhang Jinlong, Wang Zhanshan. 2014: A broadband thin-film polarizer with large angle tolerance, High Power Lase and Particle Beams, 26(5): 130-135. doi: 10.11884/HPLPB201426.052003
Citation: Liu Yongli, Zhang Jinlong, Wang Zhanshan. 2014: A broadband thin-film polarizer with large angle tolerance, High Power Lase and Particle Beams, 26(5): 130-135. doi: 10.11884/HPLPB201426.052003

一种大入射角容差宽带薄膜偏振器

A broadband thin-film polarizer with large angle tolerance

  • 摘要: 通过组合长波通和短波通膜堆的方法,设计并制备了一种大入射角容差宽带薄膜偏振器.该薄膜为HfO2/SiO2结构,采用无离子束辅助的电子束蒸发工艺,蒸发金属铪和SiO2制得.对该膜的透射率光谱、激光损伤阈值和形貌进行了研究,结果显示其不仅在1044~1084 nm波段内都具有很高的对比度,而且在1064 nm波长、53°~60°的入射角范围内具有很大的消光比和激光损伤阈值,且损伤特性基本不随入射角变化.该偏振器的P光损伤阈值约为20 J/cm2,损伤主要由基板与薄膜界面处的纳米级缺陷所引起;S光损伤阈值约为4 5 J/cm2,损伤主要由激光辐照下薄膜表面的等离子烧蚀现象引起.
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出版历程
  • 刊出日期:  2014-05-30

一种大入射角容差宽带薄膜偏振器

  • 先进微结构材料教育部重点实验室(同济大学),上海200092;同济大学精密光学工程技术研究所,上海200092

摘要: 通过组合长波通和短波通膜堆的方法,设计并制备了一种大入射角容差宽带薄膜偏振器.该薄膜为HfO2/SiO2结构,采用无离子束辅助的电子束蒸发工艺,蒸发金属铪和SiO2制得.对该膜的透射率光谱、激光损伤阈值和形貌进行了研究,结果显示其不仅在1044~1084 nm波段内都具有很高的对比度,而且在1064 nm波长、53°~60°的入射角范围内具有很大的消光比和激光损伤阈值,且损伤特性基本不随入射角变化.该偏振器的P光损伤阈值约为20 J/cm2,损伤主要由基板与薄膜界面处的纳米级缺陷所引起;S光损伤阈值约为4 5 J/cm2,损伤主要由激光辐照下薄膜表面的等离子烧蚀现象引起.

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