一种大入射角容差宽带薄膜偏振器
A broadband thin-film polarizer with large angle tolerance
-
摘要: 通过组合长波通和短波通膜堆的方法,设计并制备了一种大入射角容差宽带薄膜偏振器.该薄膜为HfO2/SiO2结构,采用无离子束辅助的电子束蒸发工艺,蒸发金属铪和SiO2制得.对该膜的透射率光谱、激光损伤阈值和形貌进行了研究,结果显示其不仅在1044~1084 nm波段内都具有很高的对比度,而且在1064 nm波长、53°~60°的入射角范围内具有很大的消光比和激光损伤阈值,且损伤特性基本不随入射角变化.该偏振器的P光损伤阈值约为20 J/cm2,损伤主要由基板与薄膜界面处的纳米级缺陷所引起;S光损伤阈值约为4 5 J/cm2,损伤主要由激光辐照下薄膜表面的等离子烧蚀现象引起.
-
-
计量
- 文章访问数: 295
- HTML全文浏览数: 121
- PDF下载数: 19
- 施引文献: 0