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大口径非球面元件磁流变加工稳定性研究

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袁志刚, 唐才学, 陈贤华, 侯晶, 郑楠, 邓文辉. 2014: 大口径非球面元件磁流变加工稳定性研究, 强激光与粒子束, 26(5): 177-180. doi: 10.11884/HPLPB201426.052012
引用本文: 袁志刚, 唐才学, 陈贤华, 侯晶, 郑楠, 邓文辉. 2014: 大口径非球面元件磁流变加工稳定性研究, 强激光与粒子束, 26(5): 177-180. doi: 10.11884/HPLPB201426.052012
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Yuan Zhigang, Tang Caixue, Chen Xianhua, Hou Jing, Zheng Nan, Deng Wenhui. 2014: Magnetorheological finishing removal stability of large aperture aspherical optics, High Power Lase and Particle Beams, 26(5): 177-180. doi: 10.11884/HPLPB201426.052012
Citation: Yuan Zhigang, Tang Caixue, Chen Xianhua, Hou Jing, Zheng Nan, Deng Wenhui. 2014: Magnetorheological finishing removal stability of large aperture aspherical optics, High Power Lase and Particle Beams, 26(5): 177-180. doi: 10.11884/HPLPB201426.052012
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大口径非球面元件磁流变加工稳定性研究

  • 中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳,621900

Magnetorheological finishing removal stability of large aperture aspherical optics

  • 摘要: 重点分析了非球面元件磁流变加工的动态稳定性影响因素.设计了非球面元件的自动装调定位系统,提高了装调精度.采用一种拟合光栅式加工的新方法来验证其效果,通过测量元件表面形成的直线沟壑深度、宽度波动比例来评价去除的动态稳定性.在400 mm×400 mm口径的方形非球面元件上进行面形收敛验证实验,波长λ为632.8 nm时,加工后的透射波前误差PV值达到0.331λ,低频透射波前梯度误差GRMS值达到了0.008λ/cm.
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出版历程
  • 刊出日期:  2014-05-30

大口径非球面元件磁流变加工稳定性研究

  • 中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳,621900

摘要: 重点分析了非球面元件磁流变加工的动态稳定性影响因素.设计了非球面元件的自动装调定位系统,提高了装调精度.采用一种拟合光栅式加工的新方法来验证其效果,通过测量元件表面形成的直线沟壑深度、宽度波动比例来评价去除的动态稳定性.在400 mm×400 mm口径的方形非球面元件上进行面形收敛验证实验,波长λ为632.8 nm时,加工后的透射波前误差PV值达到0.331λ,低频透射波前梯度误差GRMS值达到了0.008λ/cm.

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