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提拉法SiO2化学膜厚度与折射率的变化规律研究

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张日东, 严鸿维, 吕海兵, 张尽力, 晏良宏, 赵松楠, 王韬, 雷洁红. 2014: 提拉法SiO2化学膜厚度与折射率的变化规律研究, 强激光与粒子束, 26(7): 70-74. doi: 10.11884/HPLPB201426.072005
引用本文: 张日东, 严鸿维, 吕海兵, 张尽力, 晏良宏, 赵松楠, 王韬, 雷洁红. 2014: 提拉法SiO2化学膜厚度与折射率的变化规律研究, 强激光与粒子束, 26(7): 70-74. doi: 10.11884/HPLPB201426.072005
shu
2014: Changes of thickness and refractive index of silica sol-gel film by dip coating process, High Power Lase and Particle Beams, 26(7): 70-74. doi: 10.11884/HPLPB201426.072005
Citation: 2014: Changes of thickness and refractive index of silica sol-gel film by dip coating process, High Power Lase and Particle Beams, 26(7): 70-74. doi: 10.11884/HPLPB201426.072005
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提拉法SiO2化学膜厚度与折射率的变化规律研究

  • 西华师范大学物理与电子信息学院,四川南充637009;中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳621900

  • 中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳,621900

  • 西华师范大学物理与电子信息学院,四川南充,637009

Changes of thickness and refractive index of silica sol-gel film by dip coating process

  • 摘要: 采用提拉法在硅基底上制备了多孔溶胶凝胶SiO2膜,用椭偏法测量薄膜的厚度与折射率,考察了提拉速度和胶体浓度对膜层厚度与折射率的影响.对厚度与提拉速度的关系进行线性与幂函数拟合,并比较分析两种拟合的关系及其对工艺流程的作用.比较了不同浓度胶体所得到的同一厚度薄膜的折射率变化规律.结果表明:对于同一胶体浓度下薄膜厚度与提拉速度的正相关关系,线性拟合相比幂函数拟合可以更好地解释实验结果的规律性.同时,折射率在一定范围内也会随着提拉速度的增加而减小.镀同一厚度膜时,浓度大的胶体膜层折射率大.通过对提拉速度和胶体浓度的控制可以得到理想的薄膜厚度与折射率.
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出版历程
  • 刊出日期:  2014-07-30

提拉法SiO2化学膜厚度与折射率的变化规律研究

  • 西华师范大学物理与电子信息学院,四川南充637009;中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳621900
  • 中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳,621900
  • 西华师范大学物理与电子信息学院,四川南充,637009

摘要: 采用提拉法在硅基底上制备了多孔溶胶凝胶SiO2膜,用椭偏法测量薄膜的厚度与折射率,考察了提拉速度和胶体浓度对膜层厚度与折射率的影响.对厚度与提拉速度的关系进行线性与幂函数拟合,并比较分析两种拟合的关系及其对工艺流程的作用.比较了不同浓度胶体所得到的同一厚度薄膜的折射率变化规律.结果表明:对于同一胶体浓度下薄膜厚度与提拉速度的正相关关系,线性拟合相比幂函数拟合可以更好地解释实验结果的规律性.同时,折射率在一定范围内也会随着提拉速度的增加而减小.镀同一厚度膜时,浓度大的胶体膜层折射率大.通过对提拉速度和胶体浓度的控制可以得到理想的薄膜厚度与折射率.

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