用于第一镜表面的金属玻璃薄膜研究

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公发全, 文静, 谭彦楠, 牟宗信, 周徐洋, 刘万发, 董闯. 2014: 用于第一镜表面的金属玻璃薄膜研究, 强激光与粒子束, null(10): 104002. doi: 10.11884/HPLPB201426.104002
引用本文: 公发全, 文静, 谭彦楠, 牟宗信, 周徐洋, 刘万发, 董闯. 2014: 用于第一镜表面的金属玻璃薄膜研究, 强激光与粒子束, null(10): 104002. doi: 10.11884/HPLPB201426.104002
Gong Faquan, Wen Jing, Tan Yannan, Mu Zongxin, Zhou Xuyang, Liu Wanfa, Dong Chuang. 2014: Metallic glass film used for first mirror surface, High Power Lase and Particle Beams, null(10): 104002. doi: 10.11884/HPLPB201426.104002
Citation: Gong Faquan, Wen Jing, Tan Yannan, Mu Zongxin, Zhou Xuyang, Liu Wanfa, Dong Chuang. 2014: Metallic glass film used for first mirror surface, High Power Lase and Particle Beams, null(10): 104002. doi: 10.11884/HPLPB201426.104002

用于第一镜表面的金属玻璃薄膜研究

Metallic glass film used for first mirror surface

  • 摘要: 为解决大口径非晶金属第一镜实现难题,在研究块体金属玻璃Co61.2 B26.2 Si7.8 Ta4.8材料基础上,采用金属玻璃块体材料制作拼接成溅射靶材,通过非平衡磁控溅射镀膜方法,实现了 Co61.2 B26.2 Si7.8 Ta4.8非晶金属薄膜第一镜。研究结果表明:通过成分设计及合成靶材的设计,能够实现与块体金属玻璃具有相同光学特性的非晶薄膜第一镜;通过Cr成分改进,能够进一步提高非晶金属薄膜第一镜在可见光波段的光谱反射率。
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出版历程
  • 刊出日期:  2014-10-30

用于第一镜表面的金属玻璃薄膜研究

  • 大连理工大学 材料科学与工程学院,辽宁 大连 116023; 中国科学院 大连化学物理研究所,中国科学院 化学激光重点实验室,辽宁 大连 116023
  • 大连理工大学 材料科学与工程学院,辽宁 大连,116023
  • 中国科学院 大连化学物理研究所,中国科学院 化学激光重点实验室,辽宁 大连 116023

摘要: 为解决大口径非晶金属第一镜实现难题,在研究块体金属玻璃Co61.2 B26.2 Si7.8 Ta4.8材料基础上,采用金属玻璃块体材料制作拼接成溅射靶材,通过非平衡磁控溅射镀膜方法,实现了 Co61.2 B26.2 Si7.8 Ta4.8非晶金属薄膜第一镜。研究结果表明:通过成分设计及合成靶材的设计,能够实现与块体金属玻璃具有相同光学特性的非晶薄膜第一镜;通过Cr成分改进,能够进一步提高非晶金属薄膜第一镜在可见光波段的光谱反射率。

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