消除相位测量轮廓术中多路径效应的影响

杨洋; 龙云飞; 吴炜; 杨晓敏; 刘凯

doi:10.11884/HPLPB201527.041013

强激光与粒子束

消除相位测量轮廓术中多路径效应的影响

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杨洋, 龙云飞, 吴炜, 杨晓敏, 刘凯. 2015: 消除相位测量轮廓术中多路径效应的影响, 强激光与粒子束, 27(4): 67-71. doi: 10.11884/HPLPB201527.041013

引用本文:

杨洋, 龙云飞, 吴炜, 杨晓敏, 刘凯. 2015: 消除相位测量轮廓术中多路径效应的影响, 强激光与粒子束, 27(4): 67-71. doi: 10.11884/HPLPB201527.041013

Yang Yang, Long Yunfei, Wu Wei, Yang Xiaomin, Liu Kai. 2015: Eliminating phase error caused by multi-path effect for phase measuring profilometry, High Power Lase and Particle Beams, 27(4): 67-71. doi: 10.11884/HPLPB201527.041013

Citation:

Yang Yang, Long Yunfei, Wu Wei, Yang Xiaomin, Liu Kai. 2015: Eliminating phase error caused by multi-path effect for phase measuring profilometry, High Power Lase and Particle Beams, 27(4): 67-71. doi: 10.11884/HPLPB201527.041013

消除相位测量轮廓术中多路径效应的影响

四川大学电气信息学院,成都,610065
四川大学电子信息学院,成都,610065

Eliminating phase error caused by multi-path effect for phase measuring profilometry

摘要: 提出了一种减小多路径效应带来的误差影响的方法,优化了相位测量轮廓术,利用亮度调制的差分图确定了受多路径效应影响大的区域,并根据相邻像素点的相位进行校正.实验表明,该方法有效地减小了相位误差,提高了三维测量的精度,校正后相位误差的均方根值比校正前减小了约57.3％.
- 相位测量轮廓术 /
- 多路径效应 /
- 相位误差校正 /
- CCD成像 /
- 插值