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Nd∶YAG晶体板条低透射波前误差加工技术

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赵世杰, 谢瑞清, 廖德锋, 陈贤华, 王健. 2015: Nd∶YAG晶体板条低透射波前误差加工技术, 强激光与粒子束, 27(6): 171-176. doi: 10.11884/HPLPB201527.062010
引用本文: 赵世杰, 谢瑞清, 廖德锋, 陈贤华, 王健. 2015: Nd∶YAG晶体板条低透射波前误差加工技术, 强激光与粒子束, 27(6): 171-176. doi: 10.11884/HPLPB201527.062010
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Zhao Shijie, Xie Ruiqing, Liao Defeng, Chen Xianhua, Wang Jian. 2015: Low transmitted wavefront error processing technology for Nd∶YAG crystal slab, High Power Lase and Particle Beams, 27(6): 171-176. doi: 10.11884/HPLPB201527.062010
Citation: Zhao Shijie, Xie Ruiqing, Liao Defeng, Chen Xianhua, Wang Jian. 2015: Low transmitted wavefront error processing technology for Nd∶YAG crystal slab, High Power Lase and Particle Beams, 27(6): 171-176. doi: 10.11884/HPLPB201527.062010
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Nd∶YAG晶体板条低透射波前误差加工技术

  • 成都精密光学工程研究中心,成都,610041

Low transmitted wavefront error processing technology for Nd∶YAG crystal slab

  • 摘要: 针对高平均功率固体激光器对Nd∶YAG晶体板条的技术需求,进行了Nd∶YAG晶体板条低透射波前误差加工技术研究.详细分析了光学加工过程中引起板条端面透射波前畸变的误差来源,并提出工艺技术解决方案.实验结果表明,在板条抛光阶段通过采用合成盘硬抛光工艺以及新的工件装夹技术,能够解决传统板条加工工艺在面形及楔角精度方面可控性差的问题,更容易实现Nd∶YAG晶体板条的低透射波前误差加工.对于150 mm×30 mm×2.5 mm规格的Nd∶YAG晶体板条元件,端面透射波前畸变PV值达到0.74λ.
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出版历程
  • 刊出日期:  2015-06-30

Nd∶YAG晶体板条低透射波前误差加工技术

  • 成都精密光学工程研究中心,成都,610041

摘要: 针对高平均功率固体激光器对Nd∶YAG晶体板条的技术需求,进行了Nd∶YAG晶体板条低透射波前误差加工技术研究.详细分析了光学加工过程中引起板条端面透射波前畸变的误差来源,并提出工艺技术解决方案.实验结果表明,在板条抛光阶段通过采用合成盘硬抛光工艺以及新的工件装夹技术,能够解决传统板条加工工艺在面形及楔角精度方面可控性差的问题,更容易实现Nd∶YAG晶体板条的低透射波前误差加工.对于150 mm×30 mm×2.5 mm规格的Nd∶YAG晶体板条元件,端面透射波前畸变PV值达到0.74λ.

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