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摆动刻蚀法制作高衍射效率凸面闪耀光栅

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王琼, 沈晨, 谭鑫, 齐向东, 巴音贺希格. 2019: 摆动刻蚀法制作高衍射效率凸面闪耀光栅, 强激光与粒子束, 31(6): 3-11. doi: 10.11884/HPLPB201931.180298
引用本文: 王琼, 沈晨, 谭鑫, 齐向东, 巴音贺希格. 2019: 摆动刻蚀法制作高衍射效率凸面闪耀光栅, 强激光与粒子束, 31(6): 3-11. doi: 10.11884/HPLPB201931.180298
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Wang Qiong, Shen Chen, Tan Xin, Qi Xiangdong, Bayanheshig. 2019: Fabrication of high-efficiency convex blazed gratings by swing ion beam etching, High Power Lase and Particle Beams, 31(6): 3-11. doi: 10.11884/HPLPB201931.180298
Citation: Wang Qiong, Shen Chen, Tan Xin, Qi Xiangdong, Bayanheshig. 2019: Fabrication of high-efficiency convex blazed gratings by swing ion beam etching, High Power Lase and Particle Beams, 31(6): 3-11. doi: 10.11884/HPLPB201931.180298
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摆动刻蚀法制作高衍射效率凸面闪耀光栅

  • 中国工程物理研究院 流体物理研究所,四川 绵阳,621999

  • 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所,长春130033;中国科学院大学,北京100049

  • 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所,长春,130033

Fabrication of high-efficiency convex blazed gratings by swing ion beam etching

  • 摘要: 通过摆动离子束刻蚀方法,制作了用于短波红外高光谱成像光谱仪的凸面闪耀光栅.该方法通过在光栅子午方向上进行摆动刻蚀,解决了凸面光栅子午方向的闪耀角一致性问题.建立了摆动刻蚀模型来分析摆动速度、束缝宽度等工艺参数对槽型演化的影响,并计算了优化的刻蚀工艺参数.制备了基底尺寸为67 mm,曲率半径为156.88 mm,刻线密度为45.5 gr/mm,闪耀角为2.2°的凸面闪耀光栅,并对其表面形貌及衍射效率进行了测量.实验结果表明,摆动刻蚀法能够制作出闪耀角一致性好、衍射效率高的小闪耀角凸面光栅,满足成像光谱仪对光谱分辨率和便携性的使用要求.
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出版历程
  • 刊出日期:  2019-01-01

摆动刻蚀法制作高衍射效率凸面闪耀光栅

  • 中国工程物理研究院 流体物理研究所,四川 绵阳,621999
  • 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所,长春130033;中国科学院大学,北京100049
  • 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所,长春,130033

摘要: 通过摆动离子束刻蚀方法,制作了用于短波红外高光谱成像光谱仪的凸面闪耀光栅.该方法通过在光栅子午方向上进行摆动刻蚀,解决了凸面光栅子午方向的闪耀角一致性问题.建立了摆动刻蚀模型来分析摆动速度、束缝宽度等工艺参数对槽型演化的影响,并计算了优化的刻蚀工艺参数.制备了基底尺寸为67 mm,曲率半径为156.88 mm,刻线密度为45.5 gr/mm,闪耀角为2.2°的凸面闪耀光栅,并对其表面形貌及衍射效率进行了测量.实验结果表明,摆动刻蚀法能够制作出闪耀角一致性好、衍射效率高的小闪耀角凸面光栅,满足成像光谱仪对光谱分辨率和便携性的使用要求.

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