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纳米结构的制备及单电子器件研究

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王太宏, 李宏伟, 贾海强, 李卫, 黄绮, 周均铭. 2001: 纳米结构的制备及单电子器件研究, 物理, 30(1): 3-5. doi: 10.3321/j.issn:0379-4148.2001.01.002
引用本文: 王太宏, 李宏伟, 贾海强, 李卫, 黄绮, 周均铭. 2001: 纳米结构的制备及单电子器件研究, 物理, 30(1): 3-5. doi: 10.3321/j.issn:0379-4148.2001.01.002
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WANG TAI-HONG, LI Hong-Wei, JIA Hai-Qiang, LI Wei, HUANG Yi, ZHOU Jun-Ming. 2001: NANOFABRICATION AND SINGLE ELECTRON DEVICES, Physics, 30(1): 3-5. doi: 10.3321/j.issn:0379-4148.2001.01.002
Citation: WANG TAI-HONG, LI Hong-Wei, JIA Hai-Qiang, LI Wei, HUANG Yi, ZHOU Jun-Ming. 2001: NANOFABRICATION AND SINGLE ELECTRON DEVICES, Physics, 30(1): 3-5. doi: 10.3321/j.issn:0379-4148.2001.01.002
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纳米结构的制备及单电子器件研究

  • 中国科学院物理研究所,

NANOFABRICATION AND SINGLE ELECTRON DEVICES

  • 摘要: 建立了单电子器件的制备工艺和单电子器件的分析、测量系统，研究了有潜在应用价值的纳米结构加工技术，制备了适合光电集成的多种纳米结构，发展了常规光刻法制备单电子器件的多种技术.其中，在生命科学和信息领域有着广泛应用的“纳米电极对”引起了国内外专家的重视.发展以“纳米电极对”为基础的单电子器件及其应用是我们目前的主要研究方向.目前我们正在探索这种单电子器件在生命芯片、微电子系统集成方面的应用.
    Abstract: We have set up a nanofabrication facility and a single-electron measurement system,and have successfully realized nanofabrication by optical lithography.This technique is especially suitable for fabricating high temperature single-electron devices.With this method we have fabricated nanoelectrode-pairs which have potential applications in developing genetic chips and in microelectronics integration.
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出版历程
  • 刊出日期:  2001-01-12

纳米结构的制备及单电子器件研究

  • 中国科学院物理研究所,

摘要: 建立了单电子器件的制备工艺和单电子器件的分析、测量系统，研究了有潜在应用价值的纳米结构加工技术，制备了适合光电集成的多种纳米结构，发展了常规光刻法制备单电子器件的多种技术.其中，在生命科学和信息领域有着广泛应用的“纳米电极对”引起了国内外专家的重视.发展以“纳米电极对”为基础的单电子器件及其应用是我们目前的主要研究方向.目前我们正在探索这种单电子器件在生命芯片、微电子系统集成方面的应用.

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