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同步辐射讲座第五讲微电子机械系统加工新方法--LIGA技术

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刘刚, 田扬超, 伊福庭, 彭良强. 2002: 同步辐射讲座第五讲微电子机械系统加工新方法--LIGA技术, 物理, 31(11): 736-740. doi: 10.3321/j.issn:0379-4148.2002.11.010
引用本文: 刘刚, 田扬超, 伊福庭, 彭良强. 2002: 同步辐射讲座第五讲微电子机械系统加工新方法--LIGA技术, 物理, 31(11): 736-740. doi: 10.3321/j.issn:0379-4148.2002.11.010
shu
2002: INTRODUCTION TO LIGA TECHNOLOGY, Physics, 31(11): 736-740. doi: 10.3321/j.issn:0379-4148.2002.11.010
Citation: 2002: INTRODUCTION TO LIGA TECHNOLOGY, Physics, 31(11): 736-740. doi: 10.3321/j.issn:0379-4148.2002.11.010
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同步辐射讲座第五讲微电子机械系统加工新方法--LIGA技术

  • 中国科学技术大学国家同步辐射实验室,合肥,230026

  • 中国科学院高能物理研究所同步辐射实验室,北京,100039

INTRODUCTION TO LIGA TECHNOLOGY

  • 摘要: 简述了微电子机械系统的起源和特点,介绍了LIGA技术的基本原理以及一些相关技术,对同步辐射深度光刻的技术要求进行了详细地说明,并介绍了国内外利用LIGA技术进行微电子机械系统研发的现状.
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出版历程
  • 刊出日期:  2002-11-12

同步辐射讲座第五讲微电子机械系统加工新方法--LIGA技术

  • 中国科学技术大学国家同步辐射实验室,合肥,230026
  • 中国科学院高能物理研究所同步辐射实验室,北京,100039

摘要: 简述了微电子机械系统的起源和特点,介绍了LIGA技术的基本原理以及一些相关技术,对同步辐射深度光刻的技术要求进行了详细地说明,并介绍了国内外利用LIGA技术进行微电子机械系统研发的现状.

English Abstract

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