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Langmuir单探针诊断射频辉光放电等离子体及其数据处理

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池凌飞, 林揆训, 姚若河, 林璇英, 余楚迎, 余云鹏. 2001: Langmuir单探针诊断射频辉光放电等离子体及其数据处理, 物理学报, 50(7): 1313-1318. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2001.07.023
引用本文: 池凌飞, 林揆训, 姚若河, 林璇英, 余楚迎, 余云鹏. 2001: Langmuir单探针诊断射频辉光放电等离子体及其数据处理, 物理学报, 50(7): 1313-1318. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2001.07.023
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2001: Diagnostic of RF Plasma by Using Langmuir Probe and Its Numerical Processing, Acta Physica Sinica, 50(7): 1313-1318. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2001.07.023
Citation: 2001: Diagnostic of RF Plasma by Using Langmuir Probe and Its Numerical Processing, Acta Physica Sinica, 50(7): 1313-1318. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2001.07.023
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Langmuir单探针诊断射频辉光放电等离子体及其数据处理

  • 汕头大学物理系,汕头 515063

Diagnostic of RF Plasma by Using Langmuir Probe and Its Numerical Processing

  • 摘要: Langmuir探针是诊断等离子体参数的重要手段.报道了在氩气射顿(13.56MHz)辉光放电等离子体中使用调谐单探针进行诊断,对探针I-V特性曲线的统计噪声进行了数字滤波的光滑化处理,而后求二次微商.在相同的放电条件下,使用自行设计的微分电路,对探针特性二次微商进行在线测量.这两种方法得到的二次微商结果能够较好地符合.
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出版历程

Langmuir单探针诊断射频辉光放电等离子体及其数据处理

  • 汕头大学物理系,汕头 515063

摘要: Langmuir探针是诊断等离子体参数的重要手段.报道了在氩气射顿(13.56MHz)辉光放电等离子体中使用调谐单探针进行诊断,对探针I-V特性曲线的统计噪声进行了数字滤波的光滑化处理,而后求二次微商.在相同的放电条件下,使用自行设计的微分电路,对探针特性二次微商进行在线测量.这两种方法得到的二次微商结果能够较好地符合.

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