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空心阴极直流放电的二维自洽模型描述和阴极溅射分析

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赖建军, 余建华, 黄建军, 王新兵, 丘军林. 2001: 空心阴极直流放电的二维自洽模型描述和阴极溅射分析, 物理学报, 50(8): 1528-1533. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2001.08.024
引用本文: 赖建军, 余建华, 黄建军, 王新兵, 丘军林. 2001: 空心阴极直流放电的二维自洽模型描述和阴极溅射分析, 物理学报, 50(8): 1528-1533. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2001.08.024
shu
2001: SELF-CONSISTENT DESCRIPTION OF A DC HOLLOW CATHODE DISCHARGE AND ANALYSIS OF CATHODE SPUTTERING, Acta Physica Sinica, 50(8): 1528-1533. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2001.08.024
Citation: 2001: SELF-CONSISTENT DESCRIPTION OF A DC HOLLOW CATHODE DISCHARGE AND ANALYSIS OF CATHODE SPUTTERING, Acta Physica Sinica, 50(8): 1528-1533. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2001.08.024
shu

空心阴极直流放电的二维自洽模型描述和阴极溅射分析

  • 华中科技大学

  • 深圳大学科技研究院光电子系,

  • 深圳大学理学院,

SELF-CONSISTENT DESCRIPTION OF A DC HOLLOW CATHODE DISCHARGE AND ANALYSIS OF CATHODE SPUTTERING

  • 摘要: 建立了空心阴极放电的二维自洽理论模型，理论研究了气压为50—120 Pa, 电压为150—300 V的范围内Ar空心阴极放电特性、粒子密度和电离速率空间分布，特别考察了影响阴极溅射分布有关因素：阴极面上的电场、离子流和离子密度的沿阴极截面的空间分布.研究结果不仅证实了在所讨论的范围内，空心阴极效应明显存在而且发现归一化电离速率的空间分布形状强烈依赖于气压.通过研究电场、离子流和离子密度的空间分布解释了空心阴极溅射型离子激光器中不均匀阴极溅射的现象来源于阴极面附近的电场、离子流和离子密度的不均匀分布.
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出版历程
  • 刊出日期:  2001-08-30

空心阴极直流放电的二维自洽模型描述和阴极溅射分析

  • 华中科技大学
  • 深圳大学科技研究院光电子系,
  • 深圳大学理学院,

摘要: 建立了空心阴极放电的二维自洽理论模型，理论研究了气压为50—120 Pa, 电压为150—300 V的范围内Ar空心阴极放电特性、粒子密度和电离速率空间分布，特别考察了影响阴极溅射分布有关因素：阴极面上的电场、离子流和离子密度的沿阴极截面的空间分布.研究结果不仅证实了在所讨论的范围内，空心阴极效应明显存在而且发现归一化电离速率的空间分布形状强烈依赖于气压.通过研究电场、离子流和离子密度的空间分布解释了空心阴极溅射型离子激光器中不均匀阴极溅射的现象来源于阴极面附近的电场、离子流和离子密度的不均匀分布.

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