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高温下金属薄膜生长初期的模拟研究

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吴锋民, 施建青, 吴自勤. 2001: 高温下金属薄膜生长初期的模拟研究, 物理学报, 50(8): 1555-1559. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2001.08.029
引用本文: 吴锋民, 施建青, 吴自勤. 2001: 高温下金属薄膜生长初期的模拟研究, 物理学报, 50(8): 1555-1559. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2001.08.029
shu
2001: SIMULATION OF THE INITIAL GROWTH OF METAL THIN FILMS AT HIGH TEMPERATURE, Acta Physica Sinica, 50(8): 1555-1559. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2001.08.029
Citation: 2001: SIMULATION OF THE INITIAL GROWTH OF METAL THIN FILMS AT HIGH TEMPERATURE, Acta Physica Sinica, 50(8): 1555-1559. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2001.08.029
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高温下金属薄膜生长初期的模拟研究

  • 浙江工业大学科学研究中心;浙江工业大学应用物理系

  • 浙江工业大学应用物理系,

  • 中国科学技术大学天文与应用物理系,

SIMULATION OF THE INITIAL GROWTH OF METAL THIN FILMS AT HIGH TEMPERATURE

  • 摘要: 采用实际的生长模型和物理参量，用Monte Carlo方法对高温下金属薄膜的生长过程进行了模拟研究.综合考虑了原子沉积、扩散、成核、生长和扩散原子的再蒸发、原子沿岛周界扩散和岛的合并等众多过程后，模拟得到与实验结果相当一致的薄膜生长形貌及其相应的定量结果.通过动态统计薄膜生长过程中的岛数目及薄膜生长率，得到实验中不易直接获得的高温下薄膜生长的许多细节，如岛数目和薄膜生长率随表面温度、覆盖度变化的详细情况等.
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出版历程
  • 刊出日期:  2001-08-30

高温下金属薄膜生长初期的模拟研究

  • 浙江工业大学科学研究中心;浙江工业大学应用物理系
  • 浙江工业大学应用物理系,
  • 中国科学技术大学天文与应用物理系,

摘要: 采用实际的生长模型和物理参量，用Monte Carlo方法对高温下金属薄膜的生长过程进行了模拟研究.综合考虑了原子沉积、扩散、成核、生长和扩散原子的再蒸发、原子沿岛周界扩散和岛的合并等众多过程后，模拟得到与实验结果相当一致的薄膜生长形貌及其相应的定量结果.通过动态统计薄膜生长过程中的岛数目及薄膜生长率，得到实验中不易直接获得的高温下薄膜生长的许多细节，如岛数目和薄膜生长率随表面温度、覆盖度变化的详细情况等.

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