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热解碳化学气相沉积中的多重定态和非平衡相变的研究

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闫桂沈, 李贺军, 郝志彪. 2002: 热解碳化学气相沉积中的多重定态和非平衡相变的研究, 物理学报, 51(2): 326-331. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2002.02.023
引用本文: 闫桂沈, 李贺军, 郝志彪. 2002: 热解碳化学气相沉积中的多重定态和非平衡相变的研究, 物理学报, 51(2): 326-331. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2002.02.023
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2002: Multiply steady states and nonequilibrium phase transition in chemical vapor deposition process, Acta Physica Sinica, 51(2): 326-331. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2002.02.023
Citation: 2002: Multiply steady states and nonequilibrium phase transition in chemical vapor deposition process, Acta Physica Sinica, 51(2): 326-331. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2002.02.023
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热解碳化学气相沉积中的多重定态和非平衡相变的研究

  • 西北工业大学材料科学与工程系,西安,710072；航天科技集团公司第四研究院四十三研究所,西安,710025

  • 西北工业大学材料科学与工程系,西安,710072

  • 航天科技集团公司第四研究院四十三研究所,西安,710025

Multiply steady states and nonequilibrium phase transition in chemical vapor deposition process

  • 摘要: 讨论在热解碳化学气相沉积过程中出现的多重定态和非平衡相变这一典型的非平衡物理现象的机理和发展趋势.通过理论分析和实验结果的分析发现热解碳化学气相沉积的化学反应是一个典型的非平衡化学反应,其中在沉积过程中出现的生成碳黑的过程是一个典型的非平衡相变.在这一非平衡化学反应中,自由基的反应模型符合Schlogl模型.在这一非平衡化学反应中,有线性区和非线性区,线性区的产物是热解碳,而非线性区是碳黑.在线性区,反应速率方程是唯一的、线性的,而在非线性区,反应速率方程是多重的、非线性的.
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出版历程
  • 刊出日期:  2002-02-28

热解碳化学气相沉积中的多重定态和非平衡相变的研究

  • 西北工业大学材料科学与工程系,西安,710072；航天科技集团公司第四研究院四十三研究所,西安,710025
  • 西北工业大学材料科学与工程系,西安,710072
  • 航天科技集团公司第四研究院四十三研究所,西安,710025

摘要: 讨论在热解碳化学气相沉积过程中出现的多重定态和非平衡相变这一典型的非平衡物理现象的机理和发展趋势.通过理论分析和实验结果的分析发现热解碳化学气相沉积的化学反应是一个典型的非平衡化学反应,其中在沉积过程中出现的生成碳黑的过程是一个典型的非平衡相变.在这一非平衡化学反应中,自由基的反应模型符合Schlogl模型.在这一非平衡化学反应中,有线性区和非线性区,线性区的产物是热解碳,而非线性区是碳黑.在线性区,反应速率方程是唯一的、线性的,而在非线性区,反应速率方程是多重的、非线性的.

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