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碰撞效应对入射到射频偏压电极上离子能量分布和角度分布的影响

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邱华檀, 王友年, 马腾才. 2002: 碰撞效应对入射到射频偏压电极上离子能量分布和角度分布的影响, 物理学报, 51(6): 1332-1337. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2002.06.035
引用本文: 邱华檀, 王友年, 马腾才. 2002: 碰撞效应对入射到射频偏压电极上离子能量分布和角度分布的影响, 物理学报, 51(6): 1332-1337. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2002.06.035
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2002: Collisional effects on ion energy and angular distributions incident on RF-biased electrodes, Acta Physica Sinica, 51(6): 1332-1337. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2002.06.035
Citation: 2002: Collisional effects on ion energy and angular distributions incident on RF-biased electrodes, Acta Physica Sinica, 51(6): 1332-1337. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2002.06.035
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碰撞效应对入射到射频偏压电极上离子能量分布和角度分布的影响

  • 大连理工大学物理系、三束材料改性国家重点实验室,大连,116024

Collisional effects on ion energy and angular distributions incident on RF-biased electrodes

  • 摘要: 考虑了离子与中性粒子的弹性碰撞和电荷交换碰撞效应,建立了一套描述射频等离子体鞘层动力学特性的自洽模型,并利用Monte-Carlo模拟方法研究了入射到电极上的离子的能量分布和角度分布.数值结果表明:随着放电气压增加,入射到电极上离子的能量分布逐渐地由双峰分布变成单峰分布,而且低能离子的数目也逐渐地增加. 入射到电极上的离子呈小角分布,而且放电气压等参数对角度分布的影响不是太明显.
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出版历程
  • 刊出日期:  2002-06-30

碰撞效应对入射到射频偏压电极上离子能量分布和角度分布的影响

  • 大连理工大学物理系、三束材料改性国家重点实验室,大连,116024

摘要: 考虑了离子与中性粒子的弹性碰撞和电荷交换碰撞效应,建立了一套描述射频等离子体鞘层动力学特性的自洽模型,并利用Monte-Carlo模拟方法研究了入射到电极上的离子的能量分布和角度分布.数值结果表明:随着放电气压增加,入射到电极上离子的能量分布逐渐地由双峰分布变成单峰分布,而且低能离子的数目也逐渐地增加. 入射到电极上的离子呈小角分布,而且放电气压等参数对角度分布的影响不是太明显.

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