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N+离子注入聚四氟乙烯表面改性研究

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满宝元, 张运海, 吕国华, 刘爱华, 张庆刚, L.Guzman, M.Adami, A.Miotello. 2005: N+离子注入聚四氟乙烯表面改性研究, 物理学报, 54(2): 837-841. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.02.058
引用本文: 满宝元, 张运海, 吕国华, 刘爱华, 张庆刚, L.Guzman, M.Adami, A.Miotello. 2005: N+离子注入聚四氟乙烯表面改性研究, 物理学报, 54(2): 837-841. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.02.058
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Man Bao-Yuan, Zhang Yun-Hai, Lü Guo-Hua, Liu Ai-Hua, Zhang Qing-Gang, L.Guzman, M.Adami, A.Miotello. 2005: Study on surface modification of polytetrafluoroethylene by N+ ion implantation, Acta Physica Sinica, 54(2): 837-841. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.02.058
Citation: Man Bao-Yuan, Zhang Yun-Hai, Lü Guo-Hua, Liu Ai-Hua, Zhang Qing-Gang, L.Guzman, M.Adami, A.Miotello. 2005: Study on surface modification of polytetrafluoroethylene by N+ ion implantation, Acta Physica Sinica, 54(2): 837-841. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.02.058
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N+离子注入聚四氟乙烯表面改性研究

  • 山东师范大学物理与电子科学学院,济南,250014

  • Department of Physics,University of Trento,38050,Trento,Italy

Study on surface modification of polytetrafluoroethylene by N+ ion implantation

  • 摘要: 在剂量为1×1014-1×1017ions/cm2的范围内,在不同的温度条件下,用能量为160keV氮离子对PTFE表面进行注入处理,处理后的样品用可见(514.5nm)和傅里叶红外(1064nm)拉曼(Raman)光谱以及扫描电镜和x射线能谱仪进行检测.实验结果表明低剂量注入可以增强PTFE晶体结构的取向和有序性;中等剂量时溅射损失效应明显,表面粗糙度加大:高剂量注入时微观结构强烈地变化并生成CC双键,导致表面碳化.另外温度对表面改性效果有很大的影响.刻蚀率和表面的微观结构的变化随着温度的升高而增强.离子注入前,用喷射技术使样品覆盖一层150nm的金膜,薄膜的黏结性和硬度用划痕和透明胶带测试配合扫描电镜进行分析.分析结果表明,黏结性在注入剂量为10\{14\}ions/cm2时明显增强,这个结果与表面亲水性测量结果是一致的.但表面硬度只在温度为180℃时才得到了增强.
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出版历程
  • 刊出日期:  2005-02-28

N+离子注入聚四氟乙烯表面改性研究

  • 山东师范大学物理与电子科学学院,济南,250014
  • Department of Physics,University of Trento,38050,Trento,Italy

摘要: 在剂量为1×1014-1×1017ions/cm2的范围内,在不同的温度条件下,用能量为160keV氮离子对PTFE表面进行注入处理,处理后的样品用可见(514.5nm)和傅里叶红外(1064nm)拉曼(Raman)光谱以及扫描电镜和x射线能谱仪进行检测.实验结果表明低剂量注入可以增强PTFE晶体结构的取向和有序性;中等剂量时溅射损失效应明显,表面粗糙度加大:高剂量注入时微观结构强烈地变化并生成CC双键,导致表面碳化.另外温度对表面改性效果有很大的影响.刻蚀率和表面的微观结构的变化随着温度的升高而增强.离子注入前,用喷射技术使样品覆盖一层150nm的金膜,薄膜的黏结性和硬度用划痕和透明胶带测试配合扫描电镜进行分析.分析结果表明,黏结性在注入剂量为10\{14\}ions/cm2时明显增强,这个结果与表面亲水性测量结果是一致的.但表面硬度只在温度为180℃时才得到了增强.

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