改进的DLA方法模拟薄膜二维生长

谢国锋; 王德武; 应纯同

doi:10.3321/j.issn:1000-3290.2005.05.046

物理学报

改进的DLA方法模拟薄膜二维生长

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谢国锋, 王德武, 应纯同. 2005: 改进的DLA方法模拟薄膜二维生长, 物理学报, 54(5): 2212-2219. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.05.046

引用本文:

谢国锋, 王德武, 应纯同. 2005: 改进的DLA方法模拟薄膜二维生长, 物理学报, 54(5): 2212-2219. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.05.046

Xie Guo-Feng, Wang De-Wu, Ying Chun-Tong. 2005: Simulation of two-dimensional thin film growth by modified DLA method, Acta Physica Sinica, 54(5): 2212-2219. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.05.046

Citation:

Xie Guo-Feng, Wang De-Wu, Ying Chun-Tong. 2005: Simulation of two-dimensional thin film growth by modified DLA method, Acta Physica Sinica, 54(5): 2212-2219. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.05.046

改进的DLA方法模拟薄膜二维生长

清华大学工程物理系,北京,100084

Simulation of two-dimensional thin film growth by modified DLA method

摘要: 对经典的DLA模型进行改进,研究了薄膜的二维生长过程.通过改变表征吸附原子在基底扩散能力的参量DT,DC以及表征沉积速率的参量Dv,得到了与实验一致的薄膜分形生长模式和团状生长模式.分析了薄膜的形核阶段原子团的大小分布,以及不同条件下原子团的数目和大小随覆盖度的变化.
- DLA /
- 薄膜生长 /
- 分形生长 /
- 团状生长