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近柱面中频面形检测中曲面拟合法精度问题研究

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谢本超, 卢振武, 李凤有. 2005: 近柱面中频面形检测中曲面拟合法精度问题研究, 物理学报, 54(7): 3144-3148. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.07.030
引用本文: 谢本超, 卢振武, 李凤有. 2005: 近柱面中频面形检测中曲面拟合法精度问题研究, 物理学报, 54(7): 3144-3148. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.07.030
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XIE Ben-chao, LU Zhen-wu, LI Feng-you. 2005: Investigation of the precision of curved surface fitting in the measurement of near-cylindrical surfaces' mid-wavelength deformations, Acta Physica Sinica, 54(7): 3144-3148. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.07.030
Citation: XIE Ben-chao, LU Zhen-wu, LI Feng-you. 2005: Investigation of the precision of curved surface fitting in the measurement of near-cylindrical surfaces' mid-wavelength deformations, Acta Physica Sinica, 54(7): 3144-3148. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.07.030
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近柱面中频面形检测中曲面拟合法精度问题研究

  • 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,长春,130033;中国科学院研究生院,北京,100039

  • 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,长春,130033

Investigation of the precision of curved surface fitting in the measurement of near-cylindrical surfaces' mid-wavelength deformations

  • 摘要: 研究了曲面拟合法对特定抛物和双曲近柱面检测中波前像差的处理过程,结果表明,对振幅为0.1λ的中频正弦型面形,由曲面拟合法得到的结果与该正弦型面形之差的RMS值分别可以达到0.015λ(8.25nm)和0.013λ(7.15nm).通过分析拟合阶数对精度的影响,确认存在一个特殊的阶数n.、它使曲面拟合法的精度达到最高;讨论了估计n.值的方法,得到了和n.真实值完全符合的估计值,表明这些方法是行之有效的.
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出版历程
  • 刊出日期:  2005-07-30

近柱面中频面形检测中曲面拟合法精度问题研究

  • 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,长春,130033;中国科学院研究生院,北京,100039
  • 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,长春,130033

摘要: 研究了曲面拟合法对特定抛物和双曲近柱面检测中波前像差的处理过程,结果表明,对振幅为0.1λ的中频正弦型面形,由曲面拟合法得到的结果与该正弦型面形之差的RMS值分别可以达到0.015λ(8.25nm)和0.013λ(7.15nm).通过分析拟合阶数对精度的影响,确认存在一个特殊的阶数n.、它使曲面拟合法的精度达到最高;讨论了估计n.值的方法,得到了和n.真实值完全符合的估计值,表明这些方法是行之有效的.

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