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微波ECR全方位离子注入制备类金刚石碳膜的结构及摩擦学性能研究

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高鹏, 徐军, 邓新绿, 王德和, 董闯. 2005: 微波ECR全方位离子注入制备类金刚石碳膜的结构及摩擦学性能研究, 物理学报, 54(7): 3241-3246. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.07.046
引用本文: 高鹏, 徐军, 邓新绿, 王德和, 董闯. 2005: 微波ECR全方位离子注入制备类金刚石碳膜的结构及摩擦学性能研究, 物理学报, 54(7): 3241-3246. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.07.046
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Gao Peng, Xu Jun, DENG Xin-lu, Wang De-He, DONG Chuang. 2005: Structure and tribology properties of diamond-like carbon films prepared by microwave electron cyclotron resonance plasma source ion implantation, Acta Physica Sinica, 54(7): 3241-3246. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.07.046
Citation: Gao Peng, Xu Jun, DENG Xin-lu, Wang De-He, DONG Chuang. 2005: Structure and tribology properties of diamond-like carbon films prepared by microwave electron cyclotron resonance plasma source ion implantation, Acta Physica Sinica, 54(7): 3241-3246. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.07.046
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微波ECR全方位离子注入制备类金刚石碳膜的结构及摩擦学性能研究

  • 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连,116024

Structure and tribology properties of diamond-like carbon films prepared by microwave electron cyclotron resonance plasma source ion implantation

  • 摘要: 利用微波ECR全方位离子注入技术,在单晶硅(100)衬底上制备类金刚石薄膜.分析结果表明,所制备的类金刚石碳膜具有典型的类金刚石结构特征,薄膜均匀、致密,表面粗糙度小,摩擦系数小.其中,薄膜的结构和性能与氢流量比关系密切,随氢流量比的增加,薄膜的沉积速率减小,表面粗糙度降低,且生成sp3键更加趋向于金刚石结构,表面能更低,从而使摩擦系数大幅降低.
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出版历程
  • 刊出日期:  2005-07-30

微波ECR全方位离子注入制备类金刚石碳膜的结构及摩擦学性能研究

  • 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连,116024

摘要: 利用微波ECR全方位离子注入技术,在单晶硅(100)衬底上制备类金刚石薄膜.分析结果表明,所制备的类金刚石碳膜具有典型的类金刚石结构特征,薄膜均匀、致密,表面粗糙度小,摩擦系数小.其中,薄膜的结构和性能与氢流量比关系密切,随氢流量比的增加,薄膜的沉积速率减小,表面粗糙度降低,且生成sp3键更加趋向于金刚石结构,表面能更低,从而使摩擦系数大幅降低.

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