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电荷非平衡super junction结构电场分布

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方健, 乔明, 李肇基. 2006: 电荷非平衡super junction结构电场分布, 物理学报, 55(7): 3656-3663. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2006.07.076
引用本文: 方健, 乔明, 李肇基. 2006: 电荷非平衡super junction结构电场分布, 物理学报, 55(7): 3656-3663. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2006.07.076
shu
Fang Jian, Qiao Ming, Li Zhao-Ji. 2006: Electric field distribution in charge imbalance super junction, Acta Physica Sinica, 55(7): 3656-3663. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2006.07.076
Citation: Fang Jian, Qiao Ming, Li Zhao-Ji. 2006: Electric field distribution in charge imbalance super junction, Acta Physica Sinica, 55(7): 3656-3663. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2006.07.076
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电荷非平衡super junction结构电场分布

  • 电子科技大学微电子与固体电子学院,成都,610054

Electric field distribution in charge imbalance super junction

  • 摘要: 建立了电荷非平衡情况下super junction(SJ)耐压结构的二维电场分布理论模型.获得了浓度和宽度非平衡、梯形n-/p-区和横向线性缓变掺杂三种非平衡SJ结构的电场分布.理论分析结果与二维器件数值仿真软件MEDICI的仿真结果符合良好.虽然给出的电场分布为三角级数形式,但仍能从中获得很多重要信息.特别地,由此可求出非平衡SJ结构的峰值电场和耐压.该结果有助于对SJ结构的深入分析.
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出版历程
  • 刊出日期:  2006-07-30

电荷非平衡super junction结构电场分布

  • 电子科技大学微电子与固体电子学院,成都,610054

摘要: 建立了电荷非平衡情况下super junction(SJ)耐压结构的二维电场分布理论模型.获得了浓度和宽度非平衡、梯形n-/p-区和横向线性缓变掺杂三种非平衡SJ结构的电场分布.理论分析结果与二维器件数值仿真软件MEDICI的仿真结果符合良好.虽然给出的电场分布为三角级数形式,但仍能从中获得很多重要信息.特别地,由此可求出非平衡SJ结构的峰值电场和耐压.该结果有助于对SJ结构的深入分析.

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