多层介质膜脉冲压缩光栅近场光学特性分析

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刘世杰, 沈健, 沈自才, 孔伟金, 魏朝阳, 晋云霞, 邵建达, 范正修. 2006: 多层介质膜脉冲压缩光栅近场光学特性分析, 物理学报, 55(9): 4588-4594. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2006.09.032
引用本文: 刘世杰, 沈健, 沈自才, 孔伟金, 魏朝阳, 晋云霞, 邵建达, 范正修. 2006: 多层介质膜脉冲压缩光栅近场光学特性分析, 物理学报, 55(9): 4588-4594. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2006.09.032
Liu Shi-Jie, Shen Jian, Shen Zi-Cai, Kong Wei-Jin, Wei Chao-Yang, Jin Yun-Xia, Shao Jian-Da, Fan Zheng-Xiu. 2006: Near-field optical property of multi-layer dielectric gratings for pulse compressor, Acta Physica Sinica, 55(9): 4588-4594. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2006.09.032
Citation: Liu Shi-Jie, Shen Jian, Shen Zi-Cai, Kong Wei-Jin, Wei Chao-Yang, Jin Yun-Xia, Shao Jian-Da, Fan Zheng-Xiu. 2006: Near-field optical property of multi-layer dielectric gratings for pulse compressor, Acta Physica Sinica, 55(9): 4588-4594. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2006.09.032

多层介质膜脉冲压缩光栅近场光学特性分析

Near-field optical property of multi-layer dielectric gratings for pulse compressor

  • 摘要: 利用傅里叶模式理论分析了TE波自准直角入射的使用条件下,多层介质膜光栅的光栅区和多层膜区电场分布的特点.分别讨论了HfO2和SiO2为顶层光栅材料时,光栅结构参数对光栅脊峰值电场的影响,结果表明,对于不同膜厚的顶层材料,存在一个最佳膜厚度,使光栅脊峰值电场最小,并且当膜厚增大时,设计大高宽比的光栅可以降低该电场峰值.最后,在大角度条件下使用多层膜光栅也可以降低光栅脊处的峰值电场.
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出版历程
  • 刊出日期:  2006-09-30

多层介质膜脉冲压缩光栅近场光学特性分析

  • 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800;中国科学院研究生院,北京,100049
  • 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800

摘要: 利用傅里叶模式理论分析了TE波自准直角入射的使用条件下,多层介质膜光栅的光栅区和多层膜区电场分布的特点.分别讨论了HfO2和SiO2为顶层光栅材料时,光栅结构参数对光栅脊峰值电场的影响,结果表明,对于不同膜厚的顶层材料,存在一个最佳膜厚度,使光栅脊峰值电场最小,并且当膜厚增大时,设计大高宽比的光栅可以降低该电场峰值.最后,在大角度条件下使用多层膜光栅也可以降低光栅脊处的峰值电场.

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