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电子回旋共振放电的电离特性PIC/MCC模拟(Ⅰ)——物理模型与理论方法

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金晓林, 杨中海. 2006: 电子回旋共振放电的电离特性PIC/MCC模拟(Ⅰ)——物理模型与理论方法, 物理学报, 55(11): 5930-5934. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2006.11.058
引用本文: 金晓林, 杨中海. 2006: 电子回旋共振放电的电离特性PIC/MCC模拟(Ⅰ)——物理模型与理论方法, 物理学报, 55(11): 5930-5934. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2006.11.058
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Jin Xiao-Lin, Yang Zhong-Hai. 2006: The PIC/MCC simulation of the ionization processes in electron cyclotron resonance discharge ( Ⅰ )——Physical model and theoretical methods, Acta Physica Sinica, 55(11): 5930-5934. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2006.11.058
Citation: Jin Xiao-Lin, Yang Zhong-Hai. 2006: The PIC/MCC simulation of the ionization processes in electron cyclotron resonance discharge ( Ⅰ )——Physical model and theoretical methods, Acta Physica Sinica, 55(11): 5930-5934. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2006.11.058
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电子回旋共振放电的电离特性PIC/MCC模拟(Ⅰ)——物理模型与理论方法

  • 电子科技大学物理电子学院,成都,610054

The PIC/MCC simulation of the ionization processes in electron cyclotron resonance discharge ( Ⅰ )——Physical model and theoretical methods

  • 摘要: 采用粒子模拟与蒙特卡罗相结合(PIC/MCC)的方法对电子回旋共振(ECR)放电中的电离过程进行了模拟,其中带电粒子与微波的相互作用由PIC方法的电磁模型描述,粒子间的碰撞过程由MCC方法描述.考虑的碰撞类型有电子与中性粒子的弹性、激发、电离碰撞,离子与中性粒子的弹性、电荷交换碰撞,碰撞截面均依赖于能量而变化.阐述了理论分析的过程,为数值模拟ECR放电奠定了基础.
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出版历程
  • 刊出日期:  2006-11-30

电子回旋共振放电的电离特性PIC/MCC模拟(Ⅰ)——物理模型与理论方法

  • 电子科技大学物理电子学院,成都,610054

摘要: 采用粒子模拟与蒙特卡罗相结合(PIC/MCC)的方法对电子回旋共振(ECR)放电中的电离过程进行了模拟,其中带电粒子与微波的相互作用由PIC方法的电磁模型描述,粒子间的碰撞过程由MCC方法描述.考虑的碰撞类型有电子与中性粒子的弹性、激发、电离碰撞,离子与中性粒子的弹性、电荷交换碰撞,碰撞截面均依赖于能量而变化.阐述了理论分析的过程,为数值模拟ECR放电奠定了基础.

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