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磷化铟中铁原子替位与填隙的热致转变及其对材料性质的影响

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赵有文, 苗杉杉, 董志远, 吕小红, 邓爱红, 杨俊, 王博. 2007: 磷化铟中铁原子替位与填隙的热致转变及其对材料性质的影响, 物理学报, 56(9): 5536-5541. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2007.09.092
引用本文: 赵有文, 苗杉杉, 董志远, 吕小红, 邓爱红, 杨俊, 王博. 2007: 磷化铟中铁原子替位与填隙的热致转变及其对材料性质的影响, 物理学报, 56(9): 5536-5541. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2007.09.092
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Zhao You-Wen, Miao Shan-Shan, Dong Zhi-Yuan, Lü Xiao-Hong, Deng Ai-Hong, Yang Jun, Wang Bo. 2007: Thermally induced Fe atom transition from substitutional to interstitial sites in InP and its influence on material property, Acta Physica Sinica, 56(9): 5536-5541. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2007.09.092
Citation: Zhao You-Wen, Miao Shan-Shan, Dong Zhi-Yuan, Lü Xiao-Hong, Deng Ai-Hong, Yang Jun, Wang Bo. 2007: Thermally induced Fe atom transition from substitutional to interstitial sites in InP and its influence on material property, Acta Physica Sinica, 56(9): 5536-5541. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2007.09.092
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磷化铟中铁原子替位与填隙的热致转变及其对材料性质的影响

  • 中国科学院半导体研究所,北京,100083

  • 四川大学物理学院应用物理系,成都,610065

Thermally induced Fe atom transition from substitutional to interstitial sites in InP and its influence on material property

  • 摘要: 高温退火后掺铁半绝缘(SI)InP单晶转变为n型低阻材料.利用霍尔效应(Hall),热激电流谱(TSC),深能级瞬态谱(DLTS),X射线衍射等方法分别研究了退火前后InP材料的性质和缺陷.结果表明受高温热激发作用部分铁原子由替位转变为填隙,导致InP材料缺少深能级补偿中心而发生导电类型转变.通过比较掺杂、扩散和离子注入过程Fe原子的占位和激活情况分析了这一现象的机理和产生原因.
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出版历程
  • 刊出日期:  2007-09-30

磷化铟中铁原子替位与填隙的热致转变及其对材料性质的影响

  • 中国科学院半导体研究所,北京,100083
  • 四川大学物理学院应用物理系,成都,610065

摘要: 高温退火后掺铁半绝缘(SI)InP单晶转变为n型低阻材料.利用霍尔效应(Hall),热激电流谱(TSC),深能级瞬态谱(DLTS),X射线衍射等方法分别研究了退火前后InP材料的性质和缺陷.结果表明受高温热激发作用部分铁原子由替位转变为填隙,导致InP材料缺少深能级补偿中心而发生导电类型转变.通过比较掺杂、扩散和离子注入过程Fe原子的占位和激活情况分析了这一现象的机理和产生原因.

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