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栅耦合型静电泄放保护结构设计

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王源, 贾嵩, 孙磊, 张钢刚, 张兴, 吉利久. 2007: 栅耦合型静电泄放保护结构设计, 物理学报, 56(12): 7242-7247. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2007.12.072
引用本文: 王源, 贾嵩, 孙磊, 张钢刚, 张兴, 吉利久. 2007: 栅耦合型静电泄放保护结构设计, 物理学报, 56(12): 7242-7247. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2007.12.072
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Wang Yuan, Jia Song, Sun Lei, Zhang Gang-Gang, Zhang Xing, Ji Li-Jiu. 2007: Design of a gate-coupled electrostatic discharge protection structure, Acta Physica Sinica, 56(12): 7242-7247. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2007.12.072
Citation: Wang Yuan, Jia Song, Sun Lei, Zhang Gang-Gang, Zhang Xing, Ji Li-Jiu. 2007: Design of a gate-coupled electrostatic discharge protection structure, Acta Physica Sinica, 56(12): 7242-7247. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2007.12.072
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栅耦合型静电泄放保护结构设计

  • 北京大学微电子研究院,北京,100871

Design of a gate-coupled electrostatic discharge protection structure

  • 摘要: 提出了一种新型栅耦合型静电泄放(ESD)保护器件--压焊块电容栅耦合型保护管.该结构不仅解决了原有栅耦合型结构对特定ESD冲击不能及时响应的问题,而且节省了版图面积,提高了ESD失效电压.0.5 μm标准互补型金属氧化物半导体工艺流片测试结果表明,该结构人体模型ESD失效电压超过8 kV.给出了栅耦合型ESD保护结构中ESD检测结构的设计方法,能够精确计算检测结构中电容和电阻的取值.
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出版历程
  • 刊出日期:  2007-12-30

栅耦合型静电泄放保护结构设计

  • 北京大学微电子研究院,北京,100871

摘要: 提出了一种新型栅耦合型静电泄放(ESD)保护器件--压焊块电容栅耦合型保护管.该结构不仅解决了原有栅耦合型结构对特定ESD冲击不能及时响应的问题,而且节省了版图面积,提高了ESD失效电压.0.5 μm标准互补型金属氧化物半导体工艺流片测试结果表明,该结构人体模型ESD失效电压超过8 kV.给出了栅耦合型ESD保护结构中ESD检测结构的设计方法,能够精确计算检测结构中电容和电阻的取值.

English Abstract

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