CoFe/TiZr多层膜材料界面结构与性能的极化中子反射研究
Investigation of interfacial structure and property of CoFe/TiZr multilayers by polarized neutron reflectometry
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摘要: 利用极化中子反射技术较系统地研究了CoFe/TiZr复合多层膜材料界面结构,结果表明.1)从多层膜超镜传输特性角度考虑,等厚对层不如非等厚对层膜结构好.2)等厚对层的最佳退火温度约250℃,非等厚对层退火温度低于250℃影响不明显,等厚和非等厚对层经350 ℃退火后膜层变化严重.3)从布拉格峰位变化看,随着退火温度的升高,等厚对层膜的厚度先变小后变大;非等厚对层与之相反.
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关键词:
- CoFe/TiZr多层膜 /
- 退火影响 /
- 膜层结构 /
- 极化中子反射
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