CoFe/TiZr多层膜材料界面结构与性能的极化中子反射研究

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黄朝强, 陈波, 李新喜, V.G.Syromyatnikov, N.K.Pleshanov. 2008: CoFe/TiZr多层膜材料界面结构与性能的极化中子反射研究, 物理学报, 57(1): 364-370. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2008.01.057
引用本文: 黄朝强, 陈波, 李新喜, V.G.Syromyatnikov, N.K.Pleshanov. 2008: CoFe/TiZr多层膜材料界面结构与性能的极化中子反射研究, 物理学报, 57(1): 364-370. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2008.01.057
Huang Chao-Qiang, Chen Bo, Li Xin-Xi, V.G.Syromyatnikov, N.K.Pleshanov. 2008: Investigation of interfacial structure and property of CoFe/TiZr multilayers by polarized neutron reflectometry, Acta Physica Sinica, 57(1): 364-370. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2008.01.057
Citation: Huang Chao-Qiang, Chen Bo, Li Xin-Xi, V.G.Syromyatnikov, N.K.Pleshanov. 2008: Investigation of interfacial structure and property of CoFe/TiZr multilayers by polarized neutron reflectometry, Acta Physica Sinica, 57(1): 364-370. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2008.01.057

CoFe/TiZr多层膜材料界面结构与性能的极化中子反射研究

Investigation of interfacial structure and property of CoFe/TiZr multilayers by polarized neutron reflectometry

  • 摘要: 利用极化中子反射技术较系统地研究了CoFe/TiZr复合多层膜材料界面结构,结果表明.1)从多层膜超镜传输特性角度考虑,等厚对层不如非等厚对层膜结构好.2)等厚对层的最佳退火温度约250℃,非等厚对层退火温度低于250℃影响不明显,等厚和非等厚对层经350 ℃退火后膜层变化严重.3)从布拉格峰位变化看,随着退火温度的升高,等厚对层膜的厚度先变小后变大;非等厚对层与之相反.
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出版历程
  • 刊出日期:  2008-01-30

CoFe/TiZr多层膜材料界面结构与性能的极化中子反射研究

  • 中国工程物理研究院核物理与化学研究所,绵阳,621900
  • 俄罗斯科学院圣彼得堡核物理研究所,卡特金娜,188300

摘要: 利用极化中子反射技术较系统地研究了CoFe/TiZr复合多层膜材料界面结构,结果表明.1)从多层膜超镜传输特性角度考虑,等厚对层不如非等厚对层膜结构好.2)等厚对层的最佳退火温度约250℃,非等厚对层退火温度低于250℃影响不明显,等厚和非等厚对层经350 ℃退火后膜层变化严重.3)从布拉格峰位变化看,随着退火温度的升高,等厚对层膜的厚度先变小后变大;非等厚对层与之相反.

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