扩散理论对RLA模型中交换作用的研究

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郑小平, 张佩峰, 范多旺. 2008: 扩散理论对RLA模型中交换作用的研究, 物理学报, 57(1): 425-429. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2008.01.066
引用本文: 郑小平, 张佩峰, 范多旺. 2008: 扩散理论对RLA模型中交换作用的研究, 物理学报, 57(1): 425-429. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2008.01.066
Zheng Xiao-Ping, Zhang Pei-Feng, Fan Duo-Wang. 2008: A study based on diffusion theory for exchange-reaction of RLA model, Acta Physica Sinica, 57(1): 425-429. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2008.01.066
Citation: Zheng Xiao-Ping, Zhang Pei-Feng, Fan Duo-Wang. 2008: A study based on diffusion theory for exchange-reaction of RLA model, Acta Physica Sinica, 57(1): 425-429. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2008.01.066

扩散理论对RLA模型中交换作用的研究

A study based on diffusion theory for exchange-reaction of RLA model

  • 摘要: 以扩散理论为基础,建立以"基本微观过程"为核心的新模型,引入交换比的概念,对存在表面活化剂时薄膜生长的微观过程进行Kinetic Monte Carlo模拟.模拟发现,活化层原子和沉积原子都会发生跨层间的扩散,跨层扩散主要是单个原子的扩散,层间扩散的原子数目随着温度的升高或沉积厚度的增加而增多.RLA模型中的"交换作用"只是若干个"基本微观过程"的组合,大多数交换不是位置的"完全交换",交换比也并非恒为1.
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出版历程
  • 刊出日期:  2008-01-30

扩散理论对RLA模型中交换作用的研究

  • 兰州城市学院电子信息科学与技术研究所,兰州,730070;兰州交通大学光电技术与智能控制教育部重点实验室,兰州,730070
  • 兰州交通大学光电技术与智能控制教育部重点实验室,兰州,730070;兰州大学数学与统计学院,兰州,730000
  • 兰州交通大学光电技术与智能控制教育部重点实验室,兰州,730070

摘要: 以扩散理论为基础,建立以"基本微观过程"为核心的新模型,引入交换比的概念,对存在表面活化剂时薄膜生长的微观过程进行Kinetic Monte Carlo模拟.模拟发现,活化层原子和沉积原子都会发生跨层间的扩散,跨层扩散主要是单个原子的扩散,层间扩散的原子数目随着温度的升高或沉积厚度的增加而增多.RLA模型中的"交换作用"只是若干个"基本微观过程"的组合,大多数交换不是位置的"完全交换",交换比也并非恒为1.

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