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纳米多层膜"软"相结构参量对硬度的Hall-Petch表征

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刘明霞, 黄平, 张建民, 徐可为. 2008: 纳米多层膜'软'相结构参量对硬度的Hall-Petch表征, 物理学报, 57(4): 2363-2367. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2008.04.059
引用本文: 刘明霞, 黄平, 张建民, 徐可为. 2008: 纳米多层膜"软"相结构参量对硬度的Hall-Petch表征, 物理学报, 57(4): 2363-2367. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2008.04.059
shu
Lie Ming-Xia, Huang Ping, Zhang Jian-Min, Xu Ke-Wei. 2008: Characterization of HalI-Petch relation on microstructural parameter of softer sublayer and the hardness in nanomultilayers, Acta Physica Sinica, 57(4): 2363-2367. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2008.04.059
Citation: Lie Ming-Xia, Huang Ping, Zhang Jian-Min, Xu Ke-Wei. 2008: Characterization of HalI-Petch relation on microstructural parameter of softer sublayer and the hardness in nanomultilayers, Acta Physica Sinica, 57(4): 2363-2367. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2008.04.059
shu

纳米多层膜"软"相结构参量对硬度的Hall-Petch表征

  • 西安交通大学金属材料强度国家重点实验室,西安,710049

  • 陕西师范大学物理学与信息技术学院,西安,710062

Characterization of HalI-Petch relation on microstructural parameter of softer sublayer and the hardness in nanomultilayers

  • 摘要: 采用直流磁控溅射方法制备了不同调制比的Ni/Al纳米多层膜,利用X射线衍射技术和纳米压入连续刚度法分析了薄膜微结构及塑性变形的尺度依赖性.实验结果表明,尽管调制比有所不同,多层膜的硬度与"软"相的微结构特征参量随凋制波长减小具有相似变化规律,说明多层膜的变形机制对"软"相的微结构约束存在敏感性.随着薄膜特征尺度的减小,为统一多层膜中晶界和膜界两种强化机制,提出一个与"软"相相关的表征参量r(r=Lsub/d,Lsub表示亚层厚,d表示晶粒尺寸),这使得薄膜变形在整个尺度范围内均符合Hall-Petch关系.
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出版历程
  • 刊出日期:  2008-04-30

纳米多层膜"软"相结构参量对硬度的Hall-Petch表征

  • 西安交通大学金属材料强度国家重点实验室,西安,710049
  • 陕西师范大学物理学与信息技术学院,西安,710062

摘要: 采用直流磁控溅射方法制备了不同调制比的Ni/Al纳米多层膜,利用X射线衍射技术和纳米压入连续刚度法分析了薄膜微结构及塑性变形的尺度依赖性.实验结果表明,尽管调制比有所不同,多层膜的硬度与"软"相的微结构特征参量随凋制波长减小具有相似变化规律,说明多层膜的变形机制对"软"相的微结构约束存在敏感性.随着薄膜特征尺度的减小,为统一多层膜中晶界和膜界两种强化机制,提出一个与"软"相相关的表征参量r(r=Lsub/d,Lsub表示亚层厚,d表示晶粒尺寸),这使得薄膜变形在整个尺度范围内均符合Hall-Petch关系.

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