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背面曝光技术制作沙漏状X射线组合折射透镜

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朱艳青, 梁静秋, 梁中翥, 黄鑫华, 乐孜纯, 伊福廷, 侯凤杰, 黄万霞, 董文, 王维彪, 王志立, 崔乃迪. 2009: 背面曝光技术制作沙漏状X射线组合折射透镜, 物理学报, 58(3): 1526-1530. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2009.03.023
引用本文: 朱艳青, 梁静秋, 梁中翥, 黄鑫华, 乐孜纯, 伊福廷, 侯凤杰, 黄万霞, 董文, 王维彪, 王志立, 崔乃迪. 2009: 背面曝光技术制作沙漏状X射线组合折射透镜, 物理学报, 58(3): 1526-1530. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2009.03.023
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Zhu Yan-Qing, Liang Jing-Qiu, Liang Zhong-Zhu, Huang Xin-Hua, Le Zi-Chun, Yi Fu-Ting, Hou Feng-Jie, Huang Wan-Xia, Dong Wen, Wang Wei-Biao, Wang Zhi-Li, Cui Nai-Di. 2009: Hourglass-shaped X-ray compound refractive lens made by back-mask exposure technology, Acta Physica Sinica, 58(3): 1526-1530. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2009.03.023
Citation: Zhu Yan-Qing, Liang Jing-Qiu, Liang Zhong-Zhu, Huang Xin-Hua, Le Zi-Chun, Yi Fu-Ting, Hou Feng-Jie, Huang Wan-Xia, Dong Wen, Wang Wei-Biao, Wang Zhi-Li, Cui Nai-Di. 2009: Hourglass-shaped X-ray compound refractive lens made by back-mask exposure technology, Acta Physica Sinica, 58(3): 1526-1530. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2009.03.023
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背面曝光技术制作沙漏状X射线组合折射透镜

  • 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,长春,130033;中国科学院研究生院,北京,100049

  • 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,长春,130033

  • 浙江工业大学,杭州,310032

  • 中国科学院高能物理研究所,北京,100049

Hourglass-shaped X-ray compound refractive lens made by back-mask exposure technology

  • 摘要: 在分析沙漏状X射线组合折射透镜(X-ray compound refractive lens,XCRL)的折射聚焦理论的基础上,设计并利用背面曝光技术制作了SU-8材料的沙漏状XCRL,该技术在保证图形准确性的同时减少了工艺步骤,使制作更加简便易行.在10keV单色X射线辐射下,对制作的透镜进行了聚焦性能的实验测试,结果表明,所制作的透镜较好地实现了一维聚焦.
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出版历程
  • 刊出日期:  2009-03-30

背面曝光技术制作沙漏状X射线组合折射透镜

  • 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,长春,130033;中国科学院研究生院,北京,100049
  • 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,长春,130033
  • 浙江工业大学,杭州,310032
  • 中国科学院高能物理研究所,北京,100049

摘要: 在分析沙漏状X射线组合折射透镜(X-ray compound refractive lens,XCRL)的折射聚焦理论的基础上,设计并利用背面曝光技术制作了SU-8材料的沙漏状XCRL,该技术在保证图形准确性的同时减少了工艺步骤,使制作更加简便易行.在10keV单色X射线辐射下,对制作的透镜进行了聚焦性能的实验测试,结果表明,所制作的透镜较好地实现了一维聚焦.

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