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基于微加工工艺的光纤消逝场传感器及其长度特性研究

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庄须叶, 吴一辉, 王淑荣, 张平, 刘永顺. 2009: 基于微加工工艺的光纤消逝场传感器及其长度特性研究, 物理学报, 58(4): 2501-2506. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2009.04.057
引用本文: 庄须叶, 吴一辉, 王淑荣, 张平, 刘永顺. 2009: 基于微加工工艺的光纤消逝场传感器及其长度特性研究, 物理学报, 58(4): 2501-2506. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2009.04.057
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Zhuang Xu-Ye, Wu Yi-Hui, Wang Shu-Rong, Zhang Ping, Liu Yong-Shun. 2009: Research on the fiber-optic evanescent field sensor based on microfabvication and the effect of fiber length on its properties, Acta Physica Sinica, 58(4): 2501-2506. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2009.04.057
Citation: Zhuang Xu-Ye, Wu Yi-Hui, Wang Shu-Rong, Zhang Ping, Liu Yong-Shun. 2009: Research on the fiber-optic evanescent field sensor based on microfabvication and the effect of fiber length on its properties, Acta Physica Sinica, 58(4): 2501-2506. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2009.04.057
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基于微加工工艺的光纤消逝场传感器及其长度特性研究

  • 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,长春,130033;中国科学院研究生院,北京,100049

  • 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,长春,130033

Research on the fiber-optic evanescent field sensor based on microfabvication and the effect of fiber length on its properties

  • 摘要: 用硅光刻工艺和二氧化硅湿法腐蚀工艺制作了针状封装结构的光纤消逝场传感器.该结构的传感器体积小、试剂消耗量少,减轻了测量过程中光纤的变形,密封的结构可以有效地防止传感器受到污染.从理论和实验角度研究了不同长度的光纤消逝场传感器的测量结果,分析了传感光纤长度对传感器吸光度的影响,指出随着传感器传感光纤长度的继续增加,会使后续增加的传感光纤对传感器灵敏度的贡献越来越小.
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出版历程
  • 刊出日期:  2009-04-30

基于微加工工艺的光纤消逝场传感器及其长度特性研究

  • 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,长春,130033;中国科学院研究生院,北京,100049
  • 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,长春,130033

摘要: 用硅光刻工艺和二氧化硅湿法腐蚀工艺制作了针状封装结构的光纤消逝场传感器.该结构的传感器体积小、试剂消耗量少,减轻了测量过程中光纤的变形,密封的结构可以有效地防止传感器受到污染.从理论和实验角度研究了不同长度的光纤消逝场传感器的测量结果,分析了传感光纤长度对传感器吸光度的影响,指出随着传感器传感光纤长度的继续增加,会使后续增加的传感光纤对传感器灵敏度的贡献越来越小.

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