掺钼ZnO透明导电薄膜的太赫兹电磁波传输性质

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吴臣国, 沈杰, 李栋, 马国宏. 2009: 掺钼ZnO透明导电薄膜的太赫兹电磁波传输性质, 物理学报, 58(12): 8623-8629. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2009.12.079
引用本文: 吴臣国, 沈杰, 李栋, 马国宏. 2009: 掺钼ZnO透明导电薄膜的太赫兹电磁波传输性质, 物理学报, 58(12): 8623-8629. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2009.12.079
Wu Chen-Guo, Shen Jie, Li Dong, Ma Guo-Hong. 2009: Terahertz transmission properties of transparent conducting molybdenum-doped ZnO films, Acta Physica Sinica, 58(12): 8623-8629. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2009.12.079
Citation: Wu Chen-Guo, Shen Jie, Li Dong, Ma Guo-Hong. 2009: Terahertz transmission properties of transparent conducting molybdenum-doped ZnO films, Acta Physica Sinica, 58(12): 8623-8629. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2009.12.079

掺钼ZnO透明导电薄膜的太赫兹电磁波传输性质

Terahertz transmission properties of transparent conducting molybdenum-doped ZnO films

  • 摘要: 采用直流磁控反应溅射方法,通过调节氧分压在玻璃基底上制备了不同载流子浓度的掺Mo的ZnO(ZMO)透明导电薄膜.应用太赫兹电磁波时域光谱技术研究了ZMO导电膜的太赫兹电磁波透射性质及介电响应,得到了与频率相关的电导率、能量吸收和薄膜折射率,实验结果与经典Drude模型相符很好.ZMO导电膜的太赫兹电磁波脉冲透射性质表明,通过调节ZMO薄膜的载流子浓度,该导电膜可作为应用于衬底和光学器件等太赫兹电磁波频率范围的宽带抗反射涂层.
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出版历程
  • 刊出日期:  2009-12-30

掺钼ZnO透明导电薄膜的太赫兹电磁波传输性质

  • 复旦大学材料科学系,上海,200433
  • 上海大学物理系,上海,200444

摘要: 采用直流磁控反应溅射方法,通过调节氧分压在玻璃基底上制备了不同载流子浓度的掺Mo的ZnO(ZMO)透明导电薄膜.应用太赫兹电磁波时域光谱技术研究了ZMO导电膜的太赫兹电磁波透射性质及介电响应,得到了与频率相关的电导率、能量吸收和薄膜折射率,实验结果与经典Drude模型相符很好.ZMO导电膜的太赫兹电磁波脉冲透射性质表明,通过调节ZMO薄膜的载流子浓度,该导电膜可作为应用于衬底和光学器件等太赫兹电磁波频率范围的宽带抗反射涂层.

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