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CO2激光预处理参数对石英基片表面粗糙度的影响

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王海军, 李熙斌, 吕海兵, 袁晓东, 郑万国. 2010: CO2激光预处理参数对石英基片表面粗糙度的影响, 强激光与粒子束, 22(5): 1031-1034. doi: 10.3788/HPLPB20102205.1031
引用本文: 王海军, 李熙斌, 吕海兵, 袁晓东, 郑万国. 2010: CO2激光预处理参数对石英基片表面粗糙度的影响, 强激光与粒子束, 22(5): 1031-1034. doi: 10.3788/HPLPB20102205.1031
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Wang Haijun, Li Xibin, Lü Haibing, Yuan Xiaodong, Zheng Wanguo. 2010: Effects of CO2 laser pretreatment parameters on surface roughness of fused silica, High Power Lase and Particle Beams, 22(5): 1031-1034. doi: 10.3788/HPLPB20102205.1031
Citation: Wang Haijun, Li Xibin, Lü Haibing, Yuan Xiaodong, Zheng Wanguo. 2010: Effects of CO2 laser pretreatment parameters on surface roughness of fused silica, High Power Lase and Particle Beams, 22(5): 1031-1034. doi: 10.3788/HPLPB20102205.1031
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CO2激光预处理参数对石英基片表面粗糙度的影响

  • 中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900

Effects of CO2 laser pretreatment parameters on surface roughness of fused silica

  • 摘要: 为研究CO2激光预处理参数对熔石英基片表面粗糙度的影响,采用频率为100 Hz,光斑面积为1 mm2的CO2激光对理想的熔石英基片进行辐照处理,根据处理后基片表面微观形貌特征将修复程度分别定义为轻度、中度和重度修复,并对3种修复程度下基片的表面粗糙度值进行了统计.研究了不同脉冲作用时间和不同占空比(激光功率)的激光束单点单次辐照基片后的表面粗糙度.结果表明:石英基片的表面粗糙度均方根值和处理造成的凹陷深度均随脉冲作用时间和功率的增加逐渐变大;均方根值的增幅逐渐增加,凹陷深度的增幅逐渐减小.
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出版历程
  • 刊出日期:  2010-05-30

CO2激光预处理参数对石英基片表面粗糙度的影响

  • 中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900

摘要: 为研究CO2激光预处理参数对熔石英基片表面粗糙度的影响,采用频率为100 Hz,光斑面积为1 mm2的CO2激光对理想的熔石英基片进行辐照处理,根据处理后基片表面微观形貌特征将修复程度分别定义为轻度、中度和重度修复,并对3种修复程度下基片的表面粗糙度值进行了统计.研究了不同脉冲作用时间和不同占空比(激光功率)的激光束单点单次辐照基片后的表面粗糙度.结果表明:石英基片的表面粗糙度均方根值和处理造成的凹陷深度均随脉冲作用时间和功率的增加逐渐变大;均方根值的增幅逐渐增加,凹陷深度的增幅逐渐减小.

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