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纳秒脉冲空气辉光放电等离子体及应用

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万军, 贾向红, 宋铭炜, 王守国. 2010: 纳秒脉冲空气辉光放电等离子体及应用, 强激光与粒子束, 22(10): 2299-2302. doi: 10.3788/HPLPB20102210.2299
引用本文: 万军, 贾向红, 宋铭炜, 王守国. 2010: 纳秒脉冲空气辉光放电等离子体及应用, 强激光与粒子束, 22(10): 2299-2302. doi: 10.3788/HPLPB20102210.2299
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Wan Jun, Jia Xianghong, Song Mingwei, Wang Shouguo. 2010: Nanosecond-pulsed atmospheric pressure glow discharge plasma and its applications, High Power Lase and Particle Beams, 22(10): 2299-2302. doi: 10.3788/HPLPB20102210.2299
Citation: Wan Jun, Jia Xianghong, Song Mingwei, Wang Shouguo. 2010: Nanosecond-pulsed atmospheric pressure glow discharge plasma and its applications, High Power Lase and Particle Beams, 22(10): 2299-2302. doi: 10.3788/HPLPB20102210.2299
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纳秒脉冲空气辉光放电等离子体及应用

  • 中国科学院,微电子研究所,微电子器件与集成技术重点实验室,北京,100029

Nanosecond-pulsed atmospheric pressure glow discharge plasma and its applications

  • 摘要: 采用基于半导体断路开关的纳秒脉冲高压电源,在两个金属电极之间产生放电区间为1 600 mm×100 mm×25 mm的常压辉光空气等离子体.等离子体发生器采用负高压针电极阵列与平板阳极结构,针电极的直径为1 mm,长度为20 mm,针电极之间的间隔为20 mm,针电极与平板零电位之间的距离为25 mm,在每个负高压针电极末端周围同时形成圆锥形辉光放电,在平板地电极则形成大面积辉光放电.采用电压探针测量了该新型等离子体的放电特性,结果表明:放电脉冲的上升时间为26 ns,最高脉冲输出峰值电压为27 kV;利用该辉光等离子体对幅宽为1 000 mm聚四氟乙烯薄膜进行了表面改性处理,处理后其表面接触角由原来的124°降到69°,亲水性能大为提高.
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出版历程
  • 刊出日期:  2010-10-30

纳秒脉冲空气辉光放电等离子体及应用

  • 中国科学院,微电子研究所,微电子器件与集成技术重点实验室,北京,100029

摘要: 采用基于半导体断路开关的纳秒脉冲高压电源,在两个金属电极之间产生放电区间为1 600 mm×100 mm×25 mm的常压辉光空气等离子体.等离子体发生器采用负高压针电极阵列与平板阳极结构,针电极的直径为1 mm,长度为20 mm,针电极之间的间隔为20 mm,针电极与平板零电位之间的距离为25 mm,在每个负高压针电极末端周围同时形成圆锥形辉光放电,在平板地电极则形成大面积辉光放电.采用电压探针测量了该新型等离子体的放电特性,结果表明:放电脉冲的上升时间为26 ns,最高脉冲输出峰值电压为27 kV;利用该辉光等离子体对幅宽为1 000 mm聚四氟乙烯薄膜进行了表面改性处理,处理后其表面接触角由原来的124°降到69°,亲水性能大为提高.

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