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基于评价函数的极紫外多层膜反射式起偏器和检偏器设计

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谭默言, 朱京涛, 王占山. 2011: 基于评价函数的极紫外多层膜反射式起偏器和检偏器设计, 强激光与粒子束, 23(4): 954-958. doi: 10.3788/HPLPB20112304.0954
引用本文: 谭默言, 朱京涛, 王占山. 2011: 基于评价函数的极紫外多层膜反射式起偏器和检偏器设计, 强激光与粒子束, 23(4): 954-958. doi: 10.3788/HPLPB20112304.0954
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Tan Moyan, Zhu Jingtao, Wang Zhanshan. 2011: Design of reflective multilayer polarizers in extreme ultraviolet range using different merit functions, High Power Lase and Particle Beams, 23(4): 954-958. doi: 10.3788/HPLPB20112304.0954
Citation: Tan Moyan, Zhu Jingtao, Wang Zhanshan. 2011: Design of reflective multilayer polarizers in extreme ultraviolet range using different merit functions, High Power Lase and Particle Beams, 23(4): 954-958. doi: 10.3788/HPLPB20112304.0954
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基于评价函数的极紫外多层膜反射式起偏器和检偏器设计

  • 同济大学物理系,精密光学工程技术研究所,上海200092

Design of reflective multilayer polarizers in extreme ultraviolet range using different merit functions

  • 摘要: 基于三种不同评价函数,利用全局优化算法设计了极紫外波段高性能反射式多层膜偏振元件.通过比对不同评价函数的设计结果,分析了评价函数、工作角度及膜层数对反射式多层膜偏振片性能的影响,确定了极紫外多层膜反射式偏振片设计的角度选择、膜层数选择及评价函数选择标准.为解决传统的单一性能优化造成的偏振度损失的问题,构造了偏振比对数结合反射率的评价函数,该方法设计的偏振元件性能优于传统优化方法设计的结果.
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出版历程
  • 刊出日期:  2011-04-30

基于评价函数的极紫外多层膜反射式起偏器和检偏器设计

  • 同济大学物理系,精密光学工程技术研究所,上海200092

摘要: 基于三种不同评价函数,利用全局优化算法设计了极紫外波段高性能反射式多层膜偏振元件.通过比对不同评价函数的设计结果,分析了评价函数、工作角度及膜层数对反射式多层膜偏振片性能的影响,确定了极紫外多层膜反射式偏振片设计的角度选择、膜层数选择及评价函数选择标准.为解决传统的单一性能优化造成的偏振度损失的问题,构造了偏振比对数结合反射率的评价函数,该方法设计的偏振元件性能优于传统优化方法设计的结果.

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