多脉冲飞秒激光对锗材料的烧蚀效应

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辛建婷, 谭放, 罗国强, 马小军, 赵宗清, 韩丹. 2011: 多脉冲飞秒激光对锗材料的烧蚀效应, 强激光与粒子束, 23(7): 1753-1757. doi: 10.3788/HPLPB20112307.1753
引用本文: 辛建婷, 谭放, 罗国强, 马小军, 赵宗清, 韩丹. 2011: 多脉冲飞秒激光对锗材料的烧蚀效应, 强激光与粒子束, 23(7): 1753-1757. doi: 10.3788/HPLPB20112307.1753
Xin Jianting, Tan Fang, Luo Guoqiang, Ma Xiaojun, Zhao Zongqing, Han Dan. 2011: Ablation morphology of germanium with multi-pulse femtosecond laser, High Power Lase and Particle Beams, 23(7): 1753-1757. doi: 10.3788/HPLPB20112307.1753
Citation: Xin Jianting, Tan Fang, Luo Guoqiang, Ma Xiaojun, Zhao Zongqing, Han Dan. 2011: Ablation morphology of germanium with multi-pulse femtosecond laser, High Power Lase and Particle Beams, 23(7): 1753-1757. doi: 10.3788/HPLPB20112307.1753

多脉冲飞秒激光对锗材料的烧蚀效应

Ablation morphology of germanium with multi-pulse femtosecond laser

  • 摘要: 开展了脉宽为40 fs的不同数量激光脉冲对锗材料的烧蚀效应实验,采用扫描电镜、激光共聚焦显微镜等方法对不同数量的飞秒激光脉冲作用下锗材料表面烧蚀区进行了检测,并对作用后材料烧蚀形貌演化规律进行了分析,初步分析了锗材料烧蚀区周围形成的不同环区的形貌特征及成因,对各环区烧蚀形貌特征随激光作用脉冲数的增加而产生的形貌演化过程进行了观测.并给出单脉冲飞秒激光对锗材料的烧蚀阈值为1.2 J·cm-2,采用激光共聚焦显微镜测得该阈值条件下单个飞秒激光脉冲对锗材料的烧蚀深度约为150 nm.
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出版历程
  • 刊出日期:  2011-07-30

多脉冲飞秒激光对锗材料的烧蚀效应

  • 中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳,621900
  • 武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室,武汉,430070

摘要: 开展了脉宽为40 fs的不同数量激光脉冲对锗材料的烧蚀效应实验,采用扫描电镜、激光共聚焦显微镜等方法对不同数量的飞秒激光脉冲作用下锗材料表面烧蚀区进行了检测,并对作用后材料烧蚀形貌演化规律进行了分析,初步分析了锗材料烧蚀区周围形成的不同环区的形貌特征及成因,对各环区烧蚀形貌特征随激光作用脉冲数的增加而产生的形貌演化过程进行了观测.并给出单脉冲飞秒激光对锗材料的烧蚀阈值为1.2 J·cm-2,采用激光共聚焦显微镜测得该阈值条件下单个飞秒激光脉冲对锗材料的烧蚀深度约为150 nm.

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