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微靶装配中靶球几何量的高精度测量

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石帅, 张林, 吴文荣, 裘祖荣. 2012: 微靶装配中靶球几何量的高精度测量, 强激光与粒子束, 24(8): 1882-1886. doi: 10.3788/HPLPB20122408.1882
引用本文: 石帅, 张林, 吴文荣, 裘祖荣. 2012: 微靶装配中靶球几何量的高精度测量, 强激光与粒子束, 24(8): 1882-1886. doi: 10.3788/HPLPB20122408.1882
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Shi Shuai, Zhang Lin, Wu Wenrong, Qiu Zurong. 2012: High-precision measuring technique for geometric quantities of microsphere target in microtarget assembly, High Power Lase and Particle Beams, 24(8): 1882-1886. doi: 10.3788/HPLPB20122408.1882
Citation: Shi Shuai, Zhang Lin, Wu Wenrong, Qiu Zurong. 2012: High-precision measuring technique for geometric quantities of microsphere target in microtarget assembly, High Power Lase and Particle Beams, 24(8): 1882-1886. doi: 10.3788/HPLPB20122408.1882
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微靶装配中靶球几何量的高精度测量

  • 中国工程物理研究院 激光聚变研究中心,四川绵阳621900;天津大学 精密仪器与光电子工程学院,天津300072

  • 中国工程物理研究院 激光聚变研究中心,四川绵阳,621900

  • 天津大学 精密仪器与光电子工程学院,天津,300072

High-precision measuring technique for geometric quantities of microsphere target in microtarget assembly

  • 摘要: 为满足微靶装配过程中靶球和靶腔相对位置的严格的要求,保障惯性约束聚变实验的成功,针对机器视觉的几何量测量精度很难达到5μm以下的不足,设计了利用具有亚μm级精度的激光共焦测头对装配中的靶球进行采点扫描以获取其尺寸和位置的非接触测量方法,借助于在线监测系统运动轴的高精度定位,通过上下两个激光共焦测头的组合测量,并采用一种快速而准确的基于点阵插值细分和目标两级提取的测量算法,使在线监测系统的球体几何量测量精度达到了2 μm.
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出版历程
  • 刊出日期:  2012-08-30

微靶装配中靶球几何量的高精度测量

  • 中国工程物理研究院 激光聚变研究中心,四川绵阳621900;天津大学 精密仪器与光电子工程学院,天津300072
  • 中国工程物理研究院 激光聚变研究中心,四川绵阳,621900
  • 天津大学 精密仪器与光电子工程学院,天津,300072

摘要: 为满足微靶装配过程中靶球和靶腔相对位置的严格的要求,保障惯性约束聚变实验的成功,针对机器视觉的几何量测量精度很难达到5μm以下的不足,设计了利用具有亚μm级精度的激光共焦测头对装配中的靶球进行采点扫描以获取其尺寸和位置的非接触测量方法,借助于在线监测系统运动轴的高精度定位,通过上下两个激光共焦测头的组合测量,并采用一种快速而准确的基于点阵插值细分和目标两级提取的测量算法,使在线监测系统的球体几何量测量精度达到了2 μm.

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