关键词: 
• 高功率微波管 /
• 非蒸散型吸气剂 /
• 加速寿命试验 /
• 真空寿命

摘要: 针对一种陶瓷真空界面、天鹅绒阴极和不锈钢外壳的无氧铜压封高功率微波管,利用真空设计软件VacTran建立了系统抽气模型,模拟了真空室主要材料放气率和抽气曲线；通过吸气剂简单吸气模型,对保真空过程中吸气剂的吸气行为进行了模拟.实验对比了高功率微波管真空室在常温和烘烤状态下抽真空至10-4 Pa量级所需的时间.在真空度满足要求后,采用非蒸散型吸气剂(NEG)作为吸气泵进行保真空实验,静态下保真空超过30 d后,真空度仍维持在2×10-4 Pa.在此基础上,对保真空状态下的高功率微波管进行加速寿命实验:温度为80℃,累计时间超过140 h,真空度仍好于1×10-2 Pa,据此估计高功率微波管在常温下保持真空度高于1×10-2 Pa的时间超过1年.