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基于经验模态分解-Wigner分布的光学元件中频误差识别

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姜涛, 杨炜, 郭隐彪, 王健. 2014: 基于经验模态分解-Wigner分布的光学元件中频误差识别, 强激光与粒子束, 26(3): 108-113. doi: 10.3788/HPLPB201426.032003
引用本文: 姜涛, 杨炜, 郭隐彪, 王健. 2014: 基于经验模态分解-Wigner分布的光学元件中频误差识别, 强激光与粒子束, 26(3): 108-113. doi: 10.3788/HPLPB201426.032003
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Jiang Tao, Yang Wei, Guo Yinbiao, Wang Jian. 2014: Mid-spatial frequency error identification of precision optical surface based on empirical mode decomposition-Wigner-Ville distribution, High Power Lase and Particle Beams, 26(3): 108-113. doi: 10.3788/HPLPB201426.032003
Citation: Jiang Tao, Yang Wei, Guo Yinbiao, Wang Jian. 2014: Mid-spatial frequency error identification of precision optical surface based on empirical mode decomposition-Wigner-Ville distribution, High Power Lase and Particle Beams, 26(3): 108-113. doi: 10.3788/HPLPB201426.032003
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基于经验模态分解-Wigner分布的光学元件中频误差识别

  • 厦门大学机电工程系,福建厦门,361005

  • 中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳,621900

Mid-spatial frequency error identification of precision optical surface based on empirical mode decomposition-Wigner-Ville distribution

  • 摘要: 对于大尺寸高精密光学元件,不仅要对光学元件表面低频面形精度和高频粗糙度进行控制,还需要严格限制中频误差,以保证其使用性能和稳定性.为了确定光学元件的不合格区域并指导其返修,引入经验模态分解(EMD)和Wigner分布(WVD)函数方法,通过理论分析确定该方法与功率谱密度函数间的关系,实现对光学元件表面中频误差的辨识与定位.实验结果表明:EMDWVD方法不仅可以识别分布在实验光学元件表面15～27 mm空间频率为0.1mm-1的中频误差,还可以减小多分量信号所引起的空间频率为1.0～1.5 mm-1的交叉项干扰,提高中频误差辨识的准确率.
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出版历程
  • 刊出日期:  2014-03-30

基于经验模态分解-Wigner分布的光学元件中频误差识别

  • 厦门大学机电工程系,福建厦门,361005
  • 中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳,621900

摘要: 对于大尺寸高精密光学元件,不仅要对光学元件表面低频面形精度和高频粗糙度进行控制,还需要严格限制中频误差,以保证其使用性能和稳定性.为了确定光学元件的不合格区域并指导其返修,引入经验模态分解(EMD)和Wigner分布(WVD)函数方法,通过理论分析确定该方法与功率谱密度函数间的关系,实现对光学元件表面中频误差的辨识与定位.实验结果表明:EMDWVD方法不仅可以识别分布在实验光学元件表面15～27 mm空间频率为0.1mm-1的中频误差,还可以减小多分量信号所引起的空间频率为1.0～1.5 mm-1的交叉项干扰,提高中频误差辨识的准确率.

English Abstract

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