等离子体活化硒对电沉积Cu-In-Ga金属预制层硒化的影响

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张超, 敖建平?, 姜韬, 孙国忠, 周志强, 孙云. 2013: 等离子体活化硒对电沉积Cu-In-Ga金属预制层硒化的影响, 物理学报, null(7): 516-523. doi: 10.7498/aps.62.078801
引用本文: 张超, 敖建平?, 姜韬, 孙国忠, 周志强, 孙云. 2013: 等离子体活化硒对电沉积Cu-In-Ga金属预制层硒化的影响, 物理学报, null(7): 516-523. doi: 10.7498/aps.62.078801
2013: Influences of plasma activation Se source on selenization of electrodeposited Cu-In-Ga metallic precursors?, Acta Physica Sinica, null(7): 516-523. doi: 10.7498/aps.62.078801
Citation: 2013: Influences of plasma activation Se source on selenization of electrodeposited Cu-In-Ga metallic precursors?, Acta Physica Sinica, null(7): 516-523. doi: 10.7498/aps.62.078801

等离子体活化硒对电沉积Cu-In-Ga金属预制层硒化的影响

Influences of plasma activation Se source on selenization of electrodeposited Cu-In-Ga metallic precursors?

  • 摘要: 使用等离子体活化硒源对电沉积制备的Cu-In-Ga 金属预制层进行了硒化处理时,发现等离子体功率对Cu(In1?xGax)Se2(CIGS)晶粒的生长有重要影响,当等离子体功率为75 W时,制备出单一Cu(In0.7Ga0.3)Se2相的CIGS薄膜.通过对不同衬底温度的等离子体活化硒源硒化的CIGS薄膜进行了研究与分析,并与普通硒化后的薄膜进行对比,发现高活性硒在低温下会促进Ga-Se二元相的生成,从而有利于Cu(In0.7Ga0.3)Se2单相的生长.对等离子体硒化后的CIGS薄膜进行了电池制备,发现单相CIGS薄膜没有显著提高电池性能.通过优化工艺,所制备的CIGS电池效率达到了9.4%.
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出版历程
  • 刊出日期:  2013-04-15

等离子体活化硒对电沉积Cu-In-Ga金属预制层硒化的影响

  • 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,天津市光电子薄膜器件与技术重点实验室,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津 300071

摘要: 使用等离子体活化硒源对电沉积制备的Cu-In-Ga 金属预制层进行了硒化处理时,发现等离子体功率对Cu(In1?xGax)Se2(CIGS)晶粒的生长有重要影响,当等离子体功率为75 W时,制备出单一Cu(In0.7Ga0.3)Se2相的CIGS薄膜.通过对不同衬底温度的等离子体活化硒源硒化的CIGS薄膜进行了研究与分析,并与普通硒化后的薄膜进行对比,发现高活性硒在低温下会促进Ga-Se二元相的生成,从而有利于Cu(In0.7Ga0.3)Se2单相的生长.对等离子体硒化后的CIGS薄膜进行了电池制备,发现单相CIGS薄膜没有显著提高电池性能.通过优化工艺,所制备的CIGS电池效率达到了9.4%.

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