GaN厚膜中的质子辐照诱生缺陷研究*

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张明兰?, 杨瑞霞, 李卓昕, 曹兴忠, 王宝义, 王晓晖. 2013: GaN厚膜中的质子辐照诱生缺陷研究*, 物理学报, null(11): 427-430. doi: 10.7498/aps.62.117103
引用本文: 张明兰?, 杨瑞霞, 李卓昕, 曹兴忠, 王宝义, 王晓晖. 2013: GaN厚膜中的质子辐照诱生缺陷研究*, 物理学报, null(11): 427-430. doi: 10.7498/aps.62.117103
2013: Study on proton irradiation induced defects in GaN thick film*, Acta Physica Sinica, null(11): 427-430. doi: 10.7498/aps.62.117103
Citation: 2013: Study on proton irradiation induced defects in GaN thick film*, Acta Physica Sinica, null(11): 427-430. doi: 10.7498/aps.62.117103

GaN厚膜中的质子辐照诱生缺陷研究*

Study on proton irradiation induced defects in GaN thick film*

  • 摘要: 本文采用正电子湮没谱研究质子辐照诱生缺陷,实验发现:能量为5 MeV的质子辐照在GaN厚膜中主要产生的是Ga单空位,没有双空位或者空位团形成;在10 K测试的低温光致发光谱中,带边峰出现了“蓝移”,辐照后黄光带的发光强度减弱,说明黄光带的起源与Ga空位(VGa)之间不存在必然的联系,各激子发光峰位置没有改变,仅强度随质子注量发生变化;样品(0002)面双晶XRD扫描曲线的半峰宽在辐照后明显增大,说明质子辐照对晶格的周期性产生了影响,薄膜晶体质量下降.
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出版历程
  • 刊出日期:  2013-06-15

GaN厚膜中的质子辐照诱生缺陷研究*

  • 河北工业大学信息工程学院,天津 300401
  • 中国科学院半导体研究所半导体材料科学重点实验室,北京 100083
  • 中国科学院高能物理研究所核分析技术重点实验室,北京 100049

摘要: 本文采用正电子湮没谱研究质子辐照诱生缺陷,实验发现:能量为5 MeV的质子辐照在GaN厚膜中主要产生的是Ga单空位,没有双空位或者空位团形成;在10 K测试的低温光致发光谱中,带边峰出现了“蓝移”,辐照后黄光带的发光强度减弱,说明黄光带的起源与Ga空位(VGa)之间不存在必然的联系,各激子发光峰位置没有改变,仅强度随质子注量发生变化;样品(0002)面双晶XRD扫描曲线的半峰宽在辐照后明显增大,说明质子辐照对晶格的周期性产生了影响,薄膜晶体质量下降.

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