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金刚石表面无定形碳氢薄膜生长的分子动力学模拟?

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张传国, 杨勇, 郝汀, 张铭. 2015: 金刚石表面无定形碳氢薄膜生长的分子动力学模拟?, 物理学报, null(1): 018102. doi: 10.7498/aps.64.018102
引用本文: 张传国, 杨勇, 郝汀, 张铭. 2015: 金刚石表面无定形碳氢薄膜生长的分子动力学模拟?, 物理学报, null(1): 018102. doi: 10.7498/aps.64.018102
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Zhang Chuan-Guo, Yang Yong, Hao Ting, Zhang Ming. 2015: Molecular dynamics simulations on the growth of thin amorphous hydrogenated carb on films on diamond surface, Acta Physica Sinica, null(1): 018102. doi: 10.7498/aps.64.018102
Citation: Zhang Chuan-Guo, Yang Yong, Hao Ting, Zhang Ming. 2015: Molecular dynamics simulations on the growth of thin amorphous hydrogenated carb on films on diamond surface, Acta Physica Sinica, null(1): 018102. doi: 10.7498/aps.64.018102
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金刚石表面无定形碳氢薄膜生长的分子动力学模拟?

  • 中国科学院固体物理研究所材料物理重点实验室,合肥,230031

  • 北京工业大学材料科学与工程学院,北京,100124

Molecular dynamics simulations on the growth of thin amorphous hydrogenated carb on films on diamond surface

  • 摘要: 利用分子动力学模拟方法研究了CH2基团轰击金刚石(111)面所形成的无定形碳氢薄膜(a-C：H)的生长过程。结构分析表明，得到的无定形碳氢薄膜中碳原子的局域结构(如C—C第一近邻数)与其中氢原子的含量密切相关。 CH2基团入射能量的增加会导致得到的薄膜的氢含量降低，从而改变薄膜中类sp3成键碳原子的比例。
    Abstract: The growth of thin amorphous hydrogenated carbon films (a-C:H) on diamond (111) surface from the bombardment of CH2 radicals is studied using molecular dynamics simulations. Structural analysis shows that the local structure (e.g., the first coordination number of C atoms) of a-C:H depends critically on the content of hydrogen. The increase in kinetic energy of incident radicals leads to the decrease of hydrogen content, which subsequently changes the proportion of sp3 bonded C atoms in a-C:H.
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出版历程

金刚石表面无定形碳氢薄膜生长的分子动力学模拟?

  • 中国科学院固体物理研究所材料物理重点实验室,合肥,230031
  • 北京工业大学材料科学与工程学院,北京,100124

摘要: 利用分子动力学模拟方法研究了CH2基团轰击金刚石(111)面所形成的无定形碳氢薄膜(a-C：H)的生长过程。结构分析表明，得到的无定形碳氢薄膜中碳原子的局域结构(如C—C第一近邻数)与其中氢原子的含量密切相关。 CH2基团入射能量的增加会导致得到的薄膜的氢含量降低，从而改变薄膜中类sp3成键碳原子的比例。

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