Si基IV族异质结构发光器件的研究进展?

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何超, 张旭, 刘智, 成步文. 2015: Si基IV族异质结构发光器件的研究进展?, 物理学报, null(20): 206102. doi: 10.7498/aps.64.206102
引用本文: 何超, 张旭, 刘智, 成步文. 2015: Si基IV族异质结构发光器件的研究进展?, 物理学报, null(20): 206102. doi: 10.7498/aps.64.206102
He Chao, Zhang Xu, Liu Zhi, Cheng Bu-Wen. 2015: Recent progress in Ge and GeSn light emission on Si, Acta Physica Sinica, null(20): 206102. doi: 10.7498/aps.64.206102
Citation: He Chao, Zhang Xu, Liu Zhi, Cheng Bu-Wen. 2015: Recent progress in Ge and GeSn light emission on Si, Acta Physica Sinica, null(20): 206102. doi: 10.7498/aps.64.206102

Si基IV族异质结构发光器件的研究进展?

Recent progress in Ge and GeSn light emission on Si

  • 摘要: Si基光互连具有高速度、高带宽、低功耗、可集成等特点,有望解决集成电路的集成度在日益提高时电互连带来的问题。在Si基光互连的关键器件中,除了Si基光源尚未得到解决,其他器件都已经实现,因此Si基可集成高效光源具有十分重要的研究意义。同为IV族元素的Ge和GeSn因其与Si的可集成性及其独特的能带结构有望成为Si基光电集成回路中的光源。虽然Ge是间接带隙材料,但通过引入张应变、n型重掺杂,或者引入Sn形成GeSn合金等能带工程手段来提高发光效率。近年来, Si 基IV族发光材料和发光器件有许多重要进展,本文就Si基Ge, GeSn材料发光研究中的几个关键技术节点--应变工程、掺杂技术、理论模型和器件研究--回顾了近几年国际和国内的研究进展,并展望了Si基IV族激光器的发展趋势。
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出版历程
  • 刊出日期:  2015-10-30

Si基IV族异质结构发光器件的研究进展?

  • 中国科学院半导体研究所,集成光电子学国家重点实验室,北京 100083

摘要: Si基光互连具有高速度、高带宽、低功耗、可集成等特点,有望解决集成电路的集成度在日益提高时电互连带来的问题。在Si基光互连的关键器件中,除了Si基光源尚未得到解决,其他器件都已经实现,因此Si基可集成高效光源具有十分重要的研究意义。同为IV族元素的Ge和GeSn因其与Si的可集成性及其独特的能带结构有望成为Si基光电集成回路中的光源。虽然Ge是间接带隙材料,但通过引入张应变、n型重掺杂,或者引入Sn形成GeSn合金等能带工程手段来提高发光效率。近年来, Si 基IV族发光材料和发光器件有许多重要进展,本文就Si基Ge, GeSn材料发光研究中的几个关键技术节点--应变工程、掺杂技术、理论模型和器件研究--回顾了近几年国际和国内的研究进展,并展望了Si基IV族激光器的发展趋势。

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