三维a-IGZO薄膜中的电子-电子散射?

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张辉, 杨洋, 李志青. 2016: 三维a-IGZO薄膜中的电子-电子散射?, 物理学报, 65(16): 167301. doi: 10.7498/aps.65.167301
引用本文: 张辉, 杨洋, 李志青. 2016: 三维a-IGZO薄膜中的电子-电子散射?, 物理学报, 65(16): 167301. doi: 10.7498/aps.65.167301
Zhang Hui, Yang Yang, Li Zhi-Qing. 2016: Electron-electron scattering in three-dimensional amorphous IGZO films, Acta Physica Sinica, 65(16): 167301. doi: 10.7498/aps.65.167301
Citation: Zhang Hui, Yang Yang, Li Zhi-Qing. 2016: Electron-electron scattering in three-dimensional amorphous IGZO films, Acta Physica Sinica, 65(16): 167301. doi: 10.7498/aps.65.167301

三维a-IGZO薄膜中的电子-电子散射?

Electron-electron scattering in three-dimensional amorphous IGZO films

  • 摘要: 本文利用射频磁控溅射法制备了一系列厚度约800 nm的非晶铟镓锌氧化物(a-IGZO)薄膜,并对其电输运性质和低温的电子退相干机理进行了系统的研究。研究发现,所有a-IGZO薄膜中,载流子浓度均不随温度变化,高温区的电阻-温度系数为正,说明样品具有类金属导电特性。通过对薄膜低温磁电阻的测量,获得了电子退相干散射率与温度的关系。分析表明,薄膜中电子-声子散射率远小于小能量转移电子-电子散射率,小能量转移电子-电子散射率主导电子退相干散射率与温度的依赖关系。
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出版历程
  • 刊出日期:  2016-08-30

三维a-IGZO薄膜中的电子-电子散射?

  • 天津大学理学院,天津市低维功能材料物理与制备技术重点实验室,天津 300350

摘要: 本文利用射频磁控溅射法制备了一系列厚度约800 nm的非晶铟镓锌氧化物(a-IGZO)薄膜,并对其电输运性质和低温的电子退相干机理进行了系统的研究。研究发现,所有a-IGZO薄膜中,载流子浓度均不随温度变化,高温区的电阻-温度系数为正,说明样品具有类金属导电特性。通过对薄膜低温磁电阻的测量,获得了电子退相干散射率与温度的关系。分析表明,薄膜中电子-声子散射率远小于小能量转移电子-电子散射率,小能量转移电子-电子散射率主导电子退相干散射率与温度的依赖关系。

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