GaN基通孔垂直结构的发光二极管失效分析

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符民, 文尚胜, 夏云云, 向昌明, 马丙戌, 方方. 2017: GaN基通孔垂直结构的发光二极管失效分析, 物理学报, 66(4): 315-323. doi: 10.7498/aps.66.048501
引用本文: 符民, 文尚胜, 夏云云, 向昌明, 马丙戌, 方方. 2017: GaN基通孔垂直结构的发光二极管失效分析, 物理学报, 66(4): 315-323. doi: 10.7498/aps.66.048501
Fu Min, Wen Shang-Sheng, Xia Yun-Yun, Xiang Chang-Ming, Ma Bing-Xu, Fang Fang. 2017: Failure analysis of GaN-based Light-emitting diode with hole vertical structure, Acta Physica Sinica, 66(4): 315-323. doi: 10.7498/aps.66.048501
Citation: Fu Min, Wen Shang-Sheng, Xia Yun-Yun, Xiang Chang-Ming, Ma Bing-Xu, Fang Fang. 2017: Failure analysis of GaN-based Light-emitting diode with hole vertical structure, Acta Physica Sinica, 66(4): 315-323. doi: 10.7498/aps.66.048501

GaN基通孔垂直结构的发光二极管失效分析

Failure analysis of GaN-based Light-emitting diode with hole vertical structure

  • 摘要: 基于X-射线透视仪进行无损伤检测发现发光二极管(LED)产品的封装会产生空洞的情况,特选取了GaN基通孔垂直结构的LED短路失效案例进行了失效性研究.利用光学显微镜、能谱仪和扫描电子显微镜对样品微观形貌进行表征,对失效样品进行金相切片处理,观察截面处形貌,最后根据分析结果得出样品的失效机理.分析结果表明:背金层空洞和固晶层空洞的存在加重了芯片通孔处应力不均,加快了GaN外延层的破裂的速度,致使LED失效.因此,在LED的封装过程中,也需要去避免空洞的产生,增加LED的可靠性.
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出版历程
  • 刊出日期:  2017-03-02

GaN基通孔垂直结构的发光二极管失效分析

  • 华南理工大学, 发光材料与器件国家重点实验室, 广州 510640
  • 广东金鉴检测科技有限公司,广州,511300

摘要: 基于X-射线透视仪进行无损伤检测发现发光二极管(LED)产品的封装会产生空洞的情况,特选取了GaN基通孔垂直结构的LED短路失效案例进行了失效性研究.利用光学显微镜、能谱仪和扫描电子显微镜对样品微观形貌进行表征,对失效样品进行金相切片处理,观察截面处形貌,最后根据分析结果得出样品的失效机理.分析结果表明:背金层空洞和固晶层空洞的存在加重了芯片通孔处应力不均,加快了GaN外延层的破裂的速度,致使LED失效.因此,在LED的封装过程中,也需要去避免空洞的产生,增加LED的可靠性.

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